国内学会 その6 (1993年以前)
発表年月 タイトル 講演者 共著者 講演会名 備考
85-01 1985年10月 AlN層間絶縁膜によるSOI膜の歪低減効果 小椋 江上、木村 応用物理学会 秋季学術講演会
85-02 1985年10月 <100>texture poly−Si膜を用いたSSIC法の試み 江上小椋、木村 応用物理学会 秋季学術講演会
86-01 1986年4月 <100>配向Ge膜の結晶粒成長 小椋 江上、木村 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会
86-02 1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの断面TEM観察 小椋 相崎、寺尾、國尾、小山、森山、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会
86-03 1986年9月 MO−ALEによる3インチ基板上へのGaAs高均一成長 小椋、吉田、寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会
86-04 1986年9月 選択反射防止膜法SOI形成における位置合わせ 相崎 小椋、寺尾、國尾、小山、森山、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会
86-05 1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの結晶面方位とMOSFET特性との関係(T) 小山 國尾、森山、小椋、相崎、寺尾、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会
86-06 1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの結晶面方位とMOSFET特性との関係(U) 國尾 小山、森山、小椋、相崎、寺尾、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会
87-01 1987年3月 2ステップレ―ザアニ―ル法によるSOIの種なし結晶方位制御 小椋 寺尾 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会
87-02 1987年10月 SOIレ―ザアニ―ルの高速度ビデオ観察 小椋 寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会 
87-03 1987年11月 ガスソ―スSi−MBE 平山 辰巳、小椋、相崎 電気学会 電子材料研究会
88-01 1988年3月 SiO2/Si3N4ストライプ上での<100>配向Geの結晶粒成長 小椋 相崎、寺尾 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会
88-02 1988年10月 横方向エピタキシャル成長で形成したSOI/SiO2界面の構造 小椋 相崎、寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会
89-01 1989年2月 高分解能TEMによる半導体界面の評価」 小椋 日本学術振興会 第151委員会 招待講演
89-02 1989年9月 2ステップレーザアニール法によるSOIの種なし結晶方位制御(U) 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会
89-03 1989年9月 ELOの横/縦成長比の向上─トンネルエピタキシー─ 藤本 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会
89-04 1989年10月 SOI characterization and orientation control:XTEM observat ion and 2−step laser annealing 小椋 新機能素子技術シンポジウム 招待講演
90-01 1990年1月 ステップレーザアニール法によるSOIの種無し結晶方位制御 小椋 応用物理学会 応用電子物性分科会
90-02 1990年9月 トンネルエピタキシーU─超薄膜SOIの形成─ 小椋 藤本 応用物理学会 秋季学術講演会
91-01 1991年10月 トンネルエピタキシーV ─SOI領域の大面積化─ 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会
91-02 1991年10月 SOI MOSFETにおけるカットオフ特性の検討 最上、小椋、松本 応用物理学会 秋季学術講演会
92-01 1992年3月 SOIMOSFETのカットオフ特性の検討 最上、小椋、寺田 電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会
92-02 1992年6月 トンネルエピタキシー 小椋 電気学会 超微細製造技術調査専門委員会 招待講演
92-03 1992年9月 Cu膜質の堆積温度依存性 古谷 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会
92-04 1992年9月 トンネルエピタキシーW ─SOIMOSFETの試作─ 小椋、寺田 応用物理学会 秋季学術講演会




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