	発表年月	タイトル	講演者	共著者	講演会名	備考
07-01	2007年3月	固体グリーンレーザーアニールで結晶化したpoly-Si薄膜のUV/可視ラマン分光法による評価	掛村	山崎，小瀬村，吉田，小椋，正木，西田，川上，山本	春季応用物理学関係連合講演会
07-02	2007年3月	ＵＶラマン分光法によるNH*直接窒化Si3N4/Si界面の評価	吉田	山崎、小瀬村、掛村、小椋、新谷、樋口、須川、寺本、大見、服部	春季応用物理学関係連合講演会
07-03	2007年3月	擬似線状光源UV-ラマン分光法を用いたSi3N4パターン膜によるSi最表面歪分布の評価	小瀬村	山崎、掛村、吉田、小椋、　鴻野、西田、中西	春季応用物理学関係連合講演会
07-04	2007年3月	高速駆動ミラーによる擬似線状光源を持つラマン顕微鏡の開発	清水	千葉、菅野、小瀬村、山崎、掛村、吉田、小椋	春季応用物理学関係連合講演会
07-05	2007年3月	ラマン分光法による太陽電池用多結晶Si基板の評価	田中	今井、小椋、大下、新船、河合、楠岡、田島、井上	春季応用物理学関係連合講演会
07-06	2007年3月	放射光を利用した太陽電池用多結晶シリコンの評価	大下	新船、小椋、寺田、久芳	春季応用物理学関係連合講演会	招待講演
07-07	2007年3月	太陽電池用多結晶シリコンの評価：(1) 鉄析出物の観察	河合	新船、齋、小椋、大下、山口	春季応用物理学関係連合講演会
07-08	2007年3月	放射光X 線マイクロビームとトポグラフィによる歪みSi ウェーハの評価	志村	川村、浅川、渡部、安武、小椋、福田、坂田、木村	春季応用物理学関係連合講演会
07-09	2007年3月	TiNゲートMOSFET電気特性のRTA処理温度依存性	林田	柳、松川、遠藤、昌原、大内、石井、塚田、石川、小椋、鈴木	春季応用物理学関係連合講演会
07-10	2007年5月	TEMによる太陽電池用多結晶Si基板の評価	香川	田中、黒崎、小椋、大下、新船、久芳	日本顕微鏡学会第６３回学術講演会
07-11	2007年9月	SiNパターン膜により導入されたSOI表面の歪分布評価	小瀬村	掛村、吉田、小椋、内田、服部、吉丸	応用物理学会秋季学術講演会
07-12	2007年9月	ラマン分光法による太陽電池用多結晶Si基板の評価(2)	田中	今井、小椋、大下、新船、　河合、田島、井上	応用物理学会秋季学術講演会
07-13	2007年9月	多結晶Siウエハーの転位起因フォトルミネッセンスの温度依存性	井上	杉本, 田島, 大下, 小椋	応用物理学会秋季学術講演会
07-14	2007年9月	Pt(PF3)4/Ni(PF3)4を用いたNi-Pt薄膜の堆積	今井	石川，村本，町田，小椋，大下	応用物理学会秋季学術講演会
07-15	2007年9月	sc-SSOI(超臨界膜厚SSOI)基板の評価	吉田	小瀬村, 　掛村,　武井, 斎藤, 小椋,　志村, 小金澤, 広沢	応用物理学会秋季学術講演会
07-16	2007年9月	固体グリーンレーザーアニールで結晶化したpoly-Si薄膜のUV/可視ラマン分光法による評価（２）	掛村	小瀬村，斉藤，吉田，小椋，正木，西田，川上，山本	応用物理学会秋季学術講演会
07-17	2007年9月	BPSG上のSi薄膜にストレッサーで歪導入したSSOI構造の評価	黒崎	小瀬村、小椋、Ya-Hong Xie、Jeehwan Kim	応用物理学会秋季学術講演会
07-18	2007年9月	高移動度LSIに用いられるSiN歪印加膜の密度評価	斉藤	小瀬村、掛村、黒崎、吉田、武井、小椋、小金沢、広沢、鴻野、西田、中西	応用物理学会秋季学術講演会
07-19	2007年9月	極薄膜SiGe層のXRDによる歪み測定	上林	山本, 今井, 宮村, 小椋、小林	応用物理学会秋季学術講演会
07-20	2007年9月	熱処理による極薄膜SiGe層の挙動	山本	上林, 今井, 宮村, 小林, 小椋	応用物理学会秋季学術講演会
07-21	2007年9月	スパッタによるTiNメタルゲートを有するMOSFET電気特性の窒素流量依存性	林田	柳、松川、遠藤、大内、坂本、昌原、石井、塚田、　石川、山内、小椋、鈴木	応用物理学会秋季学術講演会
07-22	2007年9月	広領域X線トポグラフィによる歪みSiウェーハの結晶性評価	井上	岡本，志村，渡部，小椋，江戸，飯田	応用物理学会秋季学術講演会
07-23	2007年9月	n型nanowireFETsおける熱酸化膜起因の歪がトランスコンダクタンスに与える影響調査	清家	丹下,　佐野,　杉浦,　小瀬村，　小椋，　大泊	応用物理学会秋季学術講演会
07-24	2007年9月	窒素流量制御によるPVD TiNメタルゲートを持つFinFET CMOSの電気特性評価	柳	林田、松川、遠藤、大内、坂本、昌原、石井、塚田、石川、山内、小椋、鈴木	応用物理学会秋季学術講演会
07-25	2007年9月	基板およびプロセス歪の非破壊高精度分布測定	小椋	小瀬村、掛村、吉田、吉丸、内田、服部	STARCシンポジウム
07-26	2007年9月	UV-ラマンマッピング測定によるSi中の応力・結晶性の分布測定	吉田		STARCシンポジウム
07-27	2007年9月	SiNパターン膜がSiおよびSOIに導入する歪の分布評価	小瀬村		STARCシンポジウム
07-28	2007年9月	高移動度LSIに用いられるSiN歪印加膜の密度評価	斎藤	小瀬村、掛村、黒崎、吉田、武井、小椋、小金沢、広沢、鴻野、西田、中西	第4回SPring-8産業利用報告会
07-29	2007年9月	sc-SSOI（超臨界膜厚SSOI）の評価	吉田	小瀬村, 　掛村,　武井, 斎藤, 小椋,　志村, 小金澤, 広沢	第4回SPring-8産業利用報告会
07-30	2007年10月	太陽電池用シリコン結晶化技術とナノ制御	小椋		平成１９年度　神奈川県ものづくり技術交流会	招待講演
07-31	2007年10月	固体グリーンレーザーアニールで結晶化したpoly-Si薄膜のUV/可視ラマン分光法による評価	掛村	小瀬村、　吉田、　小椋	平成１９年度　神奈川県ものづくり技術交流会
07-32	2007年10月	sc-SSOI(超臨界膜厚SSOI)基板の歪分布・結晶性の評価	吉田	小瀬村、掛村、小椋	平成１９年度　神奈川県ものづくり技術交流会
07-33	2007年11月	スパッタによるTiNメタルゲートを有するMOSFET電気特性に関する研究	林田	柳、松川、遠藤、大内、坂本、昌原、石井、塚田、　石川、山内、小椋、鈴木	薄膜材料デバイス研究会　第4回研究集会
07-34	2007年12月	ひずみSiの現状と測定技術　－グローバルひずみを基礎としてローカルひずみへの挑戦	小椋		SEMIスタンダード関連プログラム
07-35	2007年12月	疑似線状光源を備えた高空間分解能UV／可視同軸ラマン	掛村	小瀬村、小椋	SEMIスタンダード関連プログラム