プロセス装置
- ドラフタ
- スピンコータ
- RFマグネトロンスパッタ1
- RFマグネトロンスパッタ2
- 3元RF/DCスパッタ
- 抵抗加熱蒸着
- 電子ビーム蒸着（Rod Fed E-gun）
- イオンビーム スパッタ＆エッチャー
- 超高温小型卓上実験炉
- 赤外線ランプ熱処理装置（H2，N2，O2，Ar）
- NH3熱処理炉
- マッフル炉
- 遊星ボールミリング
- 遠心分離
- ガスシリンダーキャビネット
- 超音波半田
- スポット溶接
RFマグネトロンスパッタ装置1
熱処理装置
評価装置
- フォトルミネッセンス測定（15K～）
- Raman分光測定
- 紫外可視赤外分光計
- 光伝導測定
- プローバ（インピーダンス, CV, IV測定）
- ホール効果測定
- 高抵抗測定
- 第一原理計算
- 触針式段差計（共用設備）
PLスペクトル測定装置
光伝導測定装置
