| 多目的XRD（X線回折）/XRR（X線反射）装置 学内共用の装置。明治大学地域産学連携研究センターにて利用可能である。 XRD/XRRはX線の回折特性や反射特性を測定する装置である。回折特性からは試料の結晶系・結晶性・配向性・歪・応力の測定が可能。全反射臨界付近の反射特性からは試料表面の単層/多層薄膜の膜厚・密度・界面粗さなどを測定することができる。 |
| FEM（有限要素法）ソフトウェア FEMとは偏微分方程式の近似解を得る手法の一つ。無限の自由度をもつ連続体を有限個の領域に分割し、その一つ一つについて単純な方程式の組み合わせから近似解を求めていく。構造力学分野で発達し、今日においては熱力学、電磁気学、流体力学などにおいても用いられる手法である。主に、微細構造化に伴う応力緩和やラマン分光測定におけるレーザー起因の熱分布などの評価に用いられる。 |
| 多軸XRD（X線回折）/XRR（X線反射）装置 実験の申請が採択されることにより利用できるSPring-8の実験装置。ビームラインはBL46XU。 XRD/XRRはX線の回折特性や反射特性を測定する装置である。回折特性からは試料の結晶系・結晶性・配向性・歪・応力の測定が可能。全反射臨界付近の反射特性からは試料表面の単層/多層薄膜の膜厚・密度・界面粗さなどを測定することができる。本装置は通常のXRD/XRRと異なり、高輝度の硬X線を用いているため最表面のIn-Plane XRD測定なども短時間で測定可能である。 |
| HAX-PES（硬X線光電子分光）装置 実験の申請が採択されることにより利用できるSPring-8の実験装置。ビームラインはBL46XU。 HAXPES（XPS）とはX線を照射することによって発生する光電子をエネルギーによって分光することで、試料表面の元素分析や化学結合状態解析が可能な装置である。本装置は通常のXPSと異なり、高エネルギーを持つ硬X線を用いているため検出深度が大きい。また、X線入射角度の設定ができるため、角度分解により試料表面の深さ分布を評価することも可能である。 |
| XRF（X線蛍光分析）装置 実験の申請が採択されることにより利用できるSPring-8の実験装置。ビームラインはBL37XU。 XRFとはX線を照射することによって発生する特性X線をエネルギーで分光することにより元素の分布解析を行う装置である。 |
| XAFS（X線吸収微細構造）測定装置 実験の申請が採択されることにより利用できるSPring-8の実験装置。ビームラインはBL14B2。 XAFSとはX線吸収スペクトル上でX線の吸収端付近に見られる固有の構造を観測することにより、原子の電子状態や隣接原子の位置などの情報を得る装置である。 |
| No image | 3元素同時供給CVD（化学気相成長）装置 東京農工大学所蔵の実験装置。 CVDとは金属を気化させて基板上に薄膜を気相成長させる成膜手法である。本装置は2、3種類の元素を同時に気化して供給することにより複数元素の混合薄膜を成長することが可能である。主に、PRAM（相変化メモリ）材料であるGeSbTe薄膜の成膜に用いられる。 |
| No image | PL（フォトルミネッセンス）装置 JAXA所有の実験装置。 PL装置とは、試料に光を照射することで励起された少数キャリアが多数キャリアと再結合する際に発せられるPL光を観測する装置である。本装置は4.2 Kの極低温から室温までの温度範囲で測定が可能である。4 x 10^9 cm^-3という高い検出感度を利用することで、ドナー・アクセプタの定量分析を行っている。また，PL光を検出しながら試料を二次元走査することで、PL光の二次元強度分布を観察することができる。欠陥起因の発光である深い準位の発光の二次元強度分布を観察することで、試料中の欠陥位置の同定および、欠陥の挙動の解析を行っている。 |
| No image | FT-IR（フーリエ変換赤外分光）装置 神奈川県産業技術センター所有の実験装置。 FT-IRとは測定領域に赤外線を照射し、透過してきた光を分光することで赤外吸収スペクトルを観測する装置である。赤外吸収スペクトルは結晶や分子の結合状態に依存し、結合固有のスペクトルを示すため、分子の構造同定や定量分析などが可能である。主に、太陽電池用多結晶Siの軽元素不純物の定量分析および分布測定に用いられる。 |
| No image | コンビナトリアルPLD（パルスレーザ成膜）装置 NIMS所有の実験装置。 PLDとは材料をパルスレーザーによって気化し、基板上に衝突・付着させることで成膜を行う手法である。本装置はコンビナトリアル手法に対応しており、メタルマスクを用いて2、3種類の材料を混合した組成傾斜膜をPLD成膜可能である。新規High-k材料やパッシベーション膜材料の探索に用いられる。 |
| No image | 太陽電池変換効率測定装置 豊田工業大学所蔵の実験装置。 本装置は太陽電池デバイスの評価装置である。ライン状の照明を利用してセルである電圧での電流密度分布を測定し、任意の個所におけるI-V特性、P-V特性、FF（Fill Factor）値を可視化する。これにより、不純物の存在、裏面電極の面内のムラ、シャントの位置等を発見することが可能である。また、フィルターにより光源がAM1.5、可視光源、赤外光源に変更ができる。 |