国内学会 94〜99年 2011/4/11 更新
発表年月 タイトル 講演者 共著者 講演会名 備考
1994年9月 ラマン分光法によるSiクラスターの構造決定 小椋 E.C.. Honea, K. Ragavachari, W.L. Brown 応用物理学会 秋季学術講演会  
1994年11月 ラマン分光法によるSiクラクターの構造決定 小椋   JRCATワークショップ 招待講演
1995年1月 マトリクス分離した単一サイズSiクラスターの研究 小椋   理化学研究所 シンポジウム 招待講演
1995年3月 SOI基板表面近傍の結晶完全性の評価 木村 小椋、石川 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1995年3月 ラマン分光法によるSiクラスターの構造決定 小椋   日本物理学会 年会 招待講演
1995年8月 電圧印加エッチストップによる貼り合わせSOIの薄膜均一化 小椋   応用物理学会 秋季学術講演会  
1996年1月 表面選択X線トポグラフィによるSOI基板の評価 木村 小椋、石川 日本放射光学会 年会  
1996年3月 低ドーズSIMOX基板の膜厚方向欠陥分布測定 小椋 辰巳、浜島、菊池 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1996年3月 電圧印加エッチストップによる貼り合わせSOIの薄膜化 小椋   電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会  
1996年9月 電圧印加エッチストップによる貼り合わせSOIの薄膜・均一化(U) 小椋   応用物理学会 秋季学術講演会  
1997年3月 低ドーズSIMOXにおけるドーズウィンドウの拡大 小椋   応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1997年10月 酸素注入したSi基板の熱処理による酸化膜形成過程 小野 五十嵐、小椋 応用物理学会 秋季学術講演会  
1997年10月 SOI基板に形成したLOCOS分離歪の精密測定 木村 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会  
1997年10月 SIMOX埋め込み酸化膜中のトラップレベル評価 三浦 小椋、浜田、北野 応用物理学会 秋季学術講演会  
1998年3月 室温紫外線励起PLマッピングによるSOIウエハーの評価 田島 溝口、井深、藁科、小椋 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1998年9月 Deep‑LevelのPLに着目したSOIウェハーの結晶性評価 唐沢 溝口、田島、藁科、小椋、松本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1998年9月 低ドーズSIMOXにおける埋め込み酸化膜形成過程の制御 小椋   応用物理学会 秋季学術講演会  
1998年12月 SOI基板の現状とサブ0.1μmデバイス適用への課題 小椋   日本学術振興会 第145委員会(結晶加工と評価技術) 第79回研究会 招待講演
1999年1月 低ドーズSIMOXにおける酸素析出過程の制御 小椋   応用物理学会関西支部セミナー   
1999年3月 ダメージピークに埋め込み酸化膜を持つSIMOX 小椋   応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1999年7月 低ドーズSIMOXにおける酸素析出の制御 小椋   大阪府立大学ニューフロンティア材料研究会 第141回講演会 招待講演
1999年9月 SIMOX/BOX形成時における酸素の内方・外方拡散 小野 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会  
1999年9月 SOIにイオン注入したAsおよびBの分布測定 小椋 廣井 応用物理学会 秋季学術講演会  
1999年9月 SIMOXウェハーにおける高温熱処理過程のPL評価 溝口 田島、小椋、熊藪、滝口、和泉 応用物理学会 秋季学術講演会