国内学会 〜93年 2011/4/11 更新
発表年月 タイトル 講演者 共著者 講演会名 備考
1985年10月 AlN層間絶縁膜によるSOI膜の歪低減効果 小椋 江上、木村 応用物理学会 秋季学術講演会  
1985年10月 <100>texture poly−Si膜を用いたSSIC法の試み 江上小椋、木村   応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年4月 <100>配向Ge膜の結晶粒成長 小椋 江上、木村 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの断面TEM観察 小椋 相崎、寺尾、國尾、小山、森山、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年9月 MO−ALEによる3インチ基板上へのGaAs高均一成長 森 小椋、吉田、寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年9月 選択反射防止膜法SOI形成における位置合わせ 相崎 小椋、寺尾、國尾、小山、森山、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの結晶面方位とMOSFET特性との関係(�T) 小山 國尾、森山、小椋、相崎、寺尾、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの結晶面方位とMOSFET特性との関係(�U) 國尾 小山、森山、小椋、相崎、寺尾、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1987年3月 2ステップレ―ザアニ―ル法によるSOIの種なし結晶方位制御 小椋 寺尾 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1987年10月 SOIレ―ザアニ―ルの高速度ビデオ観察 小椋 寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会   
1987年11月 ガスソ―スSi−MBE 平山 辰巳、小椋、相崎 電気学会 電子材料研究会  
1988年3月 SiO2/Si3N4ストライプ上での<100>配向Geの結晶粒成長 小椋 相崎、寺尾 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1988年10月 横方向エピタキシャル成長で形成したSOI/SiO2界面の構造 小椋 相崎、寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会  
1989年2月 高分解能TEMによる半導体界面の評価」 小椋   日本学術振興会 第151委員会 招待講演
1989年9月 2ステップレーザアニール法によるSOIの種なし結晶方位制御(�U) 小椋   応用物理学会 秋季学術講演会  
1989年9月 ELOの横/縦成長比の向上─トンネルエピタキシー─ 藤本 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会  
1989年10月 SOI characterization and orientation control:XTEM observat ion and 2−step laser annealing 小椋   新機能素子技術シンポジウム 招待講演
1990年1月 ステップレーザアニール法によるSOIの種無し結晶方位制御 小椋   応用物理学会 応用電子物性分科会  
1990年9月 トンネルエピタキシー�U─超薄膜SOIの形成─ 小椋 藤本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1991年10月 トンネルエピタキシー�V ─SOI領域の大面積化─ 小椋 黄 応用物理学会 秋季学術講演会  
1991年10月 SOI MOSFETにおけるカットオフ特性の検討 黄 最上、小椋、松本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1992年3月 SOIMOSFETのカットオフ特性の検討 黄 最上、小椋、寺田 電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会  
1992年6月 トンネルエピタキシー 小椋   電気学会 超微細製造技術調査専門委員会 招待講演
1992年9月 Cu膜質の堆積温度依存性 古谷 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会  
1992年9月 トンネルエピタキシー�W ─SOIMOSFETの試作─ 黄 小椋、寺田 応用物理学会 秋季学術講演会