国内学会 〜93年 2011/4/11 更新
発表年月 タイトル 講演者 共著者 講演会名 備考
1985年10月 AlN層間絶縁膜によるSOI膜の歪低減効果 小椋 江上、木村 応用物理学会 秋季学術講演会  
1985年10月 <100>texture poly−Si膜を用いたSSIC法の試み 江上小椋、木村   応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年4月 <100>配向Ge膜の結晶粒成長 小椋 江上、木村 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの断面TEM観察 小椋 相崎、寺尾、國尾、小山、森山、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年9月 MO−ALEによる3インチ基板上へのGaAs高均一成長 小椋、吉田、寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年9月 選択反射防止膜法SOI形成における位置合わせ 相崎 小椋、寺尾、國尾、小山、森山、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの結晶面方位とMOSFET特性との関係(T) 小山 國尾、森山、小椋、相崎、寺尾、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1986年9月 レ―ザアニ―ルSOIの結晶面方位とMOSFET特性との関係(U) 國尾 小山、森山、小椋、相崎、寺尾、榎本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1987年3月 2ステップレ―ザアニ―ル法によるSOIの種なし結晶方位制御 小椋 寺尾 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1987年10月 SOIレ―ザアニ―ルの高速度ビデオ観察 小椋 寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会   
1987年11月 ガスソ―スSi−MBE 平山 辰巳、小椋、相崎 電気学会 電子材料研究会  
1988年3月 SiO/Siストライプ上での<100>配向Geの結晶粒成長 小椋 相崎、寺尾 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会  
1988年10月 横方向エピタキシャル成長で形成したSOI/SiO界面の構造 小椋 相崎、寺尾 応用物理学会 秋季学術講演会  
1989年2月 高分解能TEMによる半導体界面の評価」 小椋   日本学術振興会 第151委員会 招待講演
1989年9月 2ステップレーザアニール法によるSOIの種なし結晶方位制御(U) 小椋   応用物理学会 秋季学術講演会  
1989年9月 ELOの横/縦成長比の向上─トンネルエピタキシー─ 藤本 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会  
1989年10月 SOI characterization and orientation control:XTEM observat ion and 2−step laser annealing 小椋   新機能素子技術シンポジウム 招待講演
1990年1月 ステップレーザアニール法によるSOIの種無し結晶方位制御 小椋   応用物理学会 応用電子物性分科会  
1990年9月 トンネルエピタキシーU─超薄膜SOIの形成─ 小椋 藤本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1991年10月 トンネルエピタキシーV ─SOI領域の大面積化─ 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会  
1991年10月 SOI MOSFETにおけるカットオフ特性の検討 最上、小椋、松本 応用物理学会 秋季学術講演会  
1992年3月 SOIMOSFETのカットオフ特性の検討 最上、小椋、寺田 電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会  
1992年6月 トンネルエピタキシー 小椋   電気学会 超微細製造技術調査専門委員会 招待講演
1992年9月 Cu膜質の堆積温度依存性 古谷 小椋 応用物理学会 秋季学術講演会  
1992年9月 トンネルエピタキシーW ─SOIMOSFETの試作─ 小椋、寺田 応用物理学会 秋季学術講演会