国内学会 16年〜17年 2020/4/21 更新
発表年月 タイトル 講演者 共著者 講演会名 備考
2016年1月22日 Ar+イオン照射によるSiナノワイヤのNi合金化プロセスの制御性向上 麻田 修平
橋本 修一郎, 武井 康平, ソン セイ, 張 旭, 徐 泰宇, 臼田 稔宏, 遠藤 清, 大場 俊輔, 富田 基裕, 今井 亮佑, 小椋 厚志, 松川 貴, 昌原 明植, 渡邉 孝信 
電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回)  
2016年1月22日 ZrO2/Al2O3/ZrO2スタック構造を用いたDRAMキャパシタにおけるAl2O3及びZrO2膜厚がリーク電流特性へ及ぼす影響 女屋 崇  生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志 電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回)  
2016年1月22日 CドープIn-Si-Oチャネルの酸化物TFTのバイアスストレス特性の改善 栗島 一徳  生田目 俊秀, 三苫 伸彦, 木津 たきお, 塚越 一仁, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 山本 逸平, 大石 知司, 知京 豊裕, 小椋 厚志 電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回)  
2016年1月22日 TMA原料とTiO2膜の酸素の自己制御型反応によるアナターゼTiO2膜への酸素欠損の形成のメカニズム 山本 逸平 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 栗島 一徳, Thang Duy Dao, 長尾 忠昭, 知京 豊裕, 小椋 厚志, 大石 知司 電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回)  
2016年1月22日 レーザーアブレーション法によるGe上ルチル型TiO2絶縁膜作製の条件最適化 鈴木 良尚 長田 貴弘, 山下 良之, 生田目 俊秀, 小椋 厚志, 知京 豊裕  電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回)  
2016年3月19日 Ar+イオン照射によるSiナノワイヤのNi合金化反応の高精度制御 大場 俊輔 橋本 修⼀郎, 武井 康平, ソン セイ, 張 旭, 徐 泰宇, 麻田 修平, 臼田 稔宏, 遠藤 清, 富田 基裕, 徳武 寛紀, 今井 亮佑, 小椋 厚志, 松川 貴, 昌原 明植, 渡邉 孝信    
2016年3月19日 PLイメージングを用いた強制汚染およびゲッタリングによる多結晶Si中の鉄およびニッケルの影響評価 鈴木 涼太 池野 成裕, 小島 拓人, 大下 祥雄, 小椋 厚志    
2016年3月20日 PLDによるルチル型TiO2/Ge 作製条件の検 鈴木 良尚 長田 貴弘, 山下 良之, 生田目 俊秀, 小椋 厚志, 知京 豊裕    
2016年3月20日 ZrO2/Al2O3/ZrO2スタック構造を用いたDRAMキャパシタにおけるリーク電流特性の改 女屋 崇 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 ⼀徳, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志    
2016年3月20日 ラマン分光法及びイメージング法による低温多結晶シリコン薄膜の結晶性分布評 横川 凌 橋 和也, 小森 克彦, 廣田 良浩, 澤本 直美, 小椋 厚志    
2016年3月20日 S/Mo比増加によるMoS2膜の低キャリア濃度化 大橋 匠 松浦 賢太朗, 石原 聖也, 日比野 祐介, 澤本 直美, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 小椋 厚志, 若林 整    
2016年3月20日 液浸ラマン分光法によるSi基板上歪Si:C薄膜に印加された応力評価 山本 章太郎 武内 ⼀真, 石原 聖也, 小椋 厚志    
2016年3月20日 液浸ラマン分光法による歪Ge1-xSnxのフォノン変形ポテンシャル導出 武内 ⼀真 須田 耕平, 山本 章太郎, 横川 凌, 小椋 厚志    
2016年3月20日 分子動力学法および分子軌道法を用いたSiGe混晶内のフォノン再現に関する考察 富田 基裕 小椋 厚志, 渡邉 孝信    
2016年3月20日 選択的イオン注入法で作製した⼀軸性歪Geの異方性応力評価 山本 章太郎 武内 ⼀真, 小瀬村 大亮, 此島 詩織, 澤野 憲太郎, 小椋 厚志    
2016年3月20日 エックス線吸収微細構造(XAFS)法によるMOCVD成⻑ゲルマニウムスズ(GeSn)薄膜の局所構造評価 臼田 宏治 吉木 昌彦, 須田 耕平, 小椋 厚志, 富田 基裕    
2016年3月20日 フォトルミネッセンス法による高濃度Si結晶の不純物効果の解析 中川 啓 田島 道夫, 小椋 厚志    
2016年3月20日 n型CZシリコンのキャリア寿命に対する熱処理による酸素析出の影響 小島 拓人 鈴木 涼太, 小椋 厚志, 立花 福久, 大下 祥雄, 西島 英一, 正田 勲, 飯田 伸仁, 橘 昇二    
2016年3月20日 太陽電池用多結晶Siにおける酸素析出初期状態のフォトルミネッセンス 樋口 史仁 宇野 匠, 田島 道夫, 小椋 厚志    
2016年3月20日 結晶Si太陽電池におけるポストプラズマ処理を用いたSiNパッシベーション特性 山下 祥弘 池野 成裕, 小島 拓人, 肥山 卓矢, 小椋 厚志    
2016年3月21日 先端複合技術型シリコン太陽電池に必要とされる技術 大下 祥雄 小椋 厚志, 中村 京太郎   招待講演
2016年3月21日 結晶シリコン太陽電池におけるウェーハとプロセスの相性 小椋 厚志 小島 拓人, 中村 京太郎, 田島 道夫, 大下 祥雄, 西島 英⼀, 正田 勲, 田 伸仁, 橘 昇⼆   招待講演
2016年3月22日 スパッタ堆積MoS2薄膜のXPSと光学コントラスト法による層数識 石原 聖也 日比野 祐介, 澤本 直美, 須田 耕平, 大橋 匠, 松浦 賢太郎, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 若林 整, 小椋 厚志    
2016年3月22日 酸化物薄膜トランジスタへ向けたCドープしたIn-W-Oチャネル材料の特性 栗島 ⼀徳 生田目 俊秀, 三苫 伸彦, 木津 たきお, 塚越 ⼀仁, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 山本 逸平, 大石 知司, 知京 豊裕, 小椋 厚志    
2016年3月25日 XPSを用いたトリメチルアルミニウムガスによるTiO2膜からの自己制御型の酸素脱離メカニズムの解析 山本 逸平 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 栗島 一徳, Thang Duy DAO, 長尾 忠昭, 知京 豊裕, 小椋 厚志, 大石 知司 2016年春期(第158回)講演大会  
2016年3月25日 TiO2/Al2O3/TiO2キャパシタにおけるPE-ALD RuO2とTiN電極の耐圧特性の比較 澤田 朋実 生田目 俊秀, Thang Duy DAO, 山本 逸平, 栗島 一徳, 女屋 崇, 大井 暁彦, 大石 知司 2016年春期(第158回)講演大会  
2016年5月20日 豊田工業大学試作ラインにおける結晶シリコン太陽電池セル開発 中村 京太郎 大下 祥雄,小椋 厚志 日本学術振興会 産学協力研究委員会 第175 委員会 第13回研究会  
2016/65/29 ZrO2/Al2O3/ZrO2多層を用いたDRAMキャパシタにおけるAl2O3層が電気特性に及ぼす効果 女屋 崇 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志 電子情報通信学会、シリコン材料・デバイス研究会 (SDM)
 
2016年9月14日 スパッタMoS2膜に対する有機硫黄化合物を用いた硫化アニール効果 石原 聖也 日比野 祐介, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太郎, 町田 英明, 石川 真人, 若林 整, 小椋 厚志
第77回応用物理学会秋季学術講演会 招待講演
2016年9月14日 (t-C4H9)2S2を用いたMoS2薄膜作製およびS/Mo比の硫化条件依存 石原 聖也 日比野 祐介, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太郎, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 若林 整, 小椋 厚志
第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 「講演奨励賞受賞記念講演」(15分)PLイメージングによる太陽電池用シリコン結晶の評価 鈴木 涼太 小島 拓人, 木下 晃輔, 大下 祥雄, 小椋 厚志 第77回応用物理学会秋季学術講演会 招待講演
2016年9月15日 PL イメージングを用いた結晶シリコン太陽電池のスライスダメージ評価 鈴木 涼太 小島 拓人, 木下 晃輔, 河津 知之, 中村 京太郎, 大下 祥雄, 小椋 厚志 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 ZrO2/high-k/ZrO2多層絶縁膜を用いたDRAMキャパシタにおけるhigh-k層間絶縁層の役割 女屋 崇 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志
第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 熱処理の冷却過程の違いによる太陽電池用単結晶シリコン中の酸素析出への影響 中山 椋平 小椋 厚志, 小野 春彦 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 ラマン分光法を用いた多結晶シリコン薄膜成膜プロセス依存の評価 鈴木 貴博 横川 凌, 高橋 和也, 小森 克彦, 森本 保, 澤本 直美, 小椋 厚志 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 n型CZシリコン太陽電池のプロセス起因酸素析出に対する成長条件の影響 小島 拓人 鈴木 涼太, 中村 京太郎, 小椋 厚志, 立花 福久, 大下 祥雄, 西島 英一, 正田 勲, 飯田 伸仁, 橘 昇二
第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ構造評価 横川 凌 鈴木 貴博, 鈴木 涼太, 高橋 和也, 小森 克彦, 森本 保, 澤本 直美, 小椋 厚志
第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 SiGe薄膜のラマンスペクトルに見られるブロードピークの起源の検討 武内 一真 小瀬村 大亮, 横川 凌, 澤本 直美, 臼田 宏治, 小椋 厚志 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 ZrO2絶縁膜/In-Si-Oチャネル界面が酸化物TFTのトランジスタ特性へ及ぼす影響 栗島 一徳 生田目 俊秀, 木津 たきお, 塚越 一仁, 女屋 崇, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 電子線照射発光活性化PL法による太陽電池用CZ-Si中の低濃度炭素の定量 木内 広達
田島 道夫, 樋口 史仁, 小椋 厚志, 飯田 伸仁, 橘 昇二, 正田 勲, 西島 英一 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 電子線照射発光活性化PL法によるCZ-Si結晶中の酸素析出過程の解析 樋口 史仁 田島 道夫, 木内 広達, 小椋 厚志 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月15日 分子動力学法および分子軌道法を用いたGeSn混晶内のフォノン再現に関する考察 富田 基裕 小椋 厚志, 渡邉 孝信 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月16日 MOCVD法によるGe基板上でのGe-xSnxエピタキシャル成長(4)Sb原子の持つサーファクタント効果によるSn濃度増加 須田 耕平 澤本 直美, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 大下 祥雄, 臼田 宏治, 広沢 一郎, 小椋 厚志 第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月16日 液浸ラマン分光法を用いたGe1-xSnxメサ構造における異方性2軸応力評価 村上 達海 武内 一真, 横川 凌, 須田 耕平, 石原 聖也, 小椋 厚志
第77回応用物理学会秋季学術講演会  
2016年9月23日 Al2O3/ZrO2/Al2O3チャージトラップキャパシタにおける電子トラップのメカニズム 生田目 俊秀 伊藤 和博, 高橋 誠, 弓削 雅津也, 女屋 崇, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 大石 知司, 小椋 厚志, 知京 豊裕 日本金属学会 第159回講演大会  
2016年12月20日 硫黄雰囲気硫化プロセスによるスパッタMoS2薄膜のキャリア密度低減 松浦 賢太朗 大橋 匠, 宗田 伊理也, 石原 聖也, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 小椋 厚志, 若林 整 物性研究所短期研究会 「原子層上の活性サイトで発現する局所機能物性」
 
2017年1月8日 X線回折によるGe1-xSnx薄膜の組成深さ分布非破壊測定 廣沢 一郎 須田 耕平, 澤本 直美, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 大下 祥雄, 小椋 厚志 第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  
2017年1月20日 High-kシード層がHfxZr1-xO2膜の強誘電性へ及ぼす影響 女屋 崇  生田目 俊秀, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会)   
2017年1月20日 酸化物薄膜トランジスタにおけるCドープIn-Si-OとIn-Si-Oチャネルの信頼性の比較 栗島 一徳 生田目 俊秀, 木津 たきお, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会)   
2017年1月20日 硬X線光電子分光法(HAXPES)によるMOCVD法形成ゲルマニウムスズ薄膜の化学結合状態解析 臼田 宏治 高石 理一郎, 吉木 昌彦 , 須田 耕平, 小椋 厚志 , 富田 充裕  「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会)   
2017年1月20日 分子動力学法を用いた2元系IV-IV族混晶半導体の格子-フォノン物性の予測と評価 富田 基裕 小椋 厚志, 渡邉 孝信 「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会)   
2017年1月20日 コンビナトリアル手法によるGe上TiO2絶縁膜のアクセプタードーピングによる影響の検討 鈴木 良尚 長田 貴弘, 山下 良之, 生田目 俊秀, 小椋 厚志, 知京 豊裕 「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会)   
2017年2月24日 分子動力学法を用いた2元系IV-IV族混晶半導体のフォノン物性の再現と予測 富田 基裕 小椋 厚志, 渡邉 孝信 電子情報通信学会 エレクトロニクス ソサイエティ シリコン材料・デバイス研究会(SDM)/電子デバイス研究会(ED)  
2017年3月1日 電子線照射光活性化PL法によるCZ-Sい結晶中の酸素析出過程の 樋口 史仁  田島 道夫, 木内 広達, 小椋 厚志 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第201回研究集会  
2017年3月14日 液浸ラマン分光法を用いたGe1‐xSnxメサ構造における異方性2軸応力のパターンサイズ依存性評価 村上 達海 武内 一真, 横川 凌, 須田 耕平, 石原 聖也, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月14日 発光活性化後の液体窒素温度フォトルミネッセンス測定によるSi結晶中炭素不純物の定量 田島 道夫 木内 広達, 樋口 史仁, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月14日 電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法による太陽電池用CZ-Si中の低炭素濃度の定量 木内 広達 田島 道夫, 樋口 史仁, 石川 陽一郎, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 室温での加水分解反応によるCu2O膜形成 大山 翔平 渡邉 匡人, 肥山 卓矢, 横川 凌, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 新規モリブデン原料i-Pr2DADMo(CO)3を用いたMoS2のMOCVD 石原 聖也 日比野 祐介, 澤本 直美, 町田 英明, 大下 祥雄, 若林 整, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 分子動力学法を用いたGeSnおよびSiSn混晶内のフォノン物性予測と評価 富田 基裕 小椋 厚志, 渡邉 孝信 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 同時スパッタ法 と(t -C4H9)2S2による硫化で作製したMo1‐xWxS2の評価 日比野 祐介 石原 聖也, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太朗, 町田 英明, 須藤 弘, 若林 整, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 同時スパッタ法とin‐situ熱処理で作製した MoS2(1‐x)Te2xの評価 日比野 祐介 石原 聖也, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太朗, 町田 英明, 須藤 弘, 若林 整, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 High Performance mc-Si中の軽元素分布 中島 佑実 中山 椋平, 沓掛 健太朗, 小椋 厚志, 小野 春彦 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 TEMによる太陽電池用n型Cz-Si中の酸素析出挙動の評価 −炭素濃度と成長条件の影響 小島 拓人 木下 晃輔, 鈴木 涼太, 中村 京太郎, 小椋 厚志, 大下 祥雄, 正田 勲, 橘 昇二 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 赤外線トモグラフィーによる太陽電池用n型Cz-Si中の酸素析出挙動の評価 −炭素濃度と成長条 件の影響 木下 晃輔 小島 拓人, 鈴木 涼太, 小林 弘人, 大下 祥雄, 正田 勲, 橘 昇二, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月15日 硬X線光電子分光法(HAXPES)によるゲルマニウムスズ薄膜の深さ方向化学結合状態評価(II) 臼田 宏治 高石 理一郎, 吉木 昌彦, 須田 耕平, 小椋 厚志, 富田 充裕 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月16日 ホールトラップがCドープIn-Si-Oのトランジスタ特性へ及ぼす影響 栗島 一徳 生田目 俊秀, 木津 たきお, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月16日 スパッタ堆積MoS2薄膜の表面粗さスケーリング解析による配向性評価 石原 聖也 大野 文太, 日比野 祐介, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太朗, 若林 整,小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月16日 ラマン分光法を用いたトレンチ近傍の異方性2軸応力評価 鈴木 貴博 横川 凌, 大麻 浩平, 西脇 達也, 浜本 毅司, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月17日 太陽電池用シリコン結晶の現状と高効率化への課題 小椋 厚志 小島拓人, 中村京太郎,  田島道夫,  大下祥雄 第29回シリサイド系半導体研究会  
2017年3月17日 水浸ラマン分光法による酸化膜被覆型Siナノワイヤの異方性二軸応力評価 横川 凌 鈴木 貴博, 橋本 修一郎, 麻田 修平, 富田 基裕, 渡邉 孝信, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月17日 ALD-ZrO2シード層によるHfxZr1‐xO2膜の強誘電性の改良 女屋 崇 生田目 俊秀, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月17日 ALD-ZrO2シード層によるHfxZr1‐xO2膜の強誘電性の改良 肥山 卓矢 小島 拓人, 小椋 厚志 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年3月17日 超高周波インピーダンス解析による高漏れ性パッシベーション膜の評価 小島 拓人 肥山 卓矢, 中村 京太郎, 小椋 厚志, 大下 祥雄 第64回応用物理学会春季学術講演会  
2017年7月21日 p型結晶シリコン太陽電池の電極用ペースト中のNaがPIDに及ぼす影響 城内 紗千子 田中 亜樹, 村松 和郎, 中村 京太郎, 小椋 厚志, 大下 祥雄, 増田 淳 第14回 「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム  
2017年10月5日 igh Performance mc-Si中の酸素析出分布 中山 椋平 小島 拓人, 小椋 厚志, 沓掛 健太朗    
2017年10月5日 太陽電池用n型Cz-Si中の炭素濃度が熱処理後の酸素析出に与える影響−赤外線トモグラフィーによる評価 木下 晃輔 小島 拓人, 大下 祥雄, 小椋 厚志    
2017年10月5日 超高周波インピーダンス解析による高漏れ性パッシベーション膜の評価(2) 小島 拓人 肥山 卓矢, 西原 達平, 中村 京太郎, 小椋 厚志, 大下 祥雄    
2017年10月5日 太陽電池用ファイアスルー制御電極ペーストを用いた電極/シリコン界面の化学結合評価 肥山 卓矢 小島 拓人, 木下 晃輔, 西原 達平, 大西 康平, 村松 和郎, 田中 亜樹, 大下 祥雄, 小椋 厚志    
2017年10月6日 電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法によるP添加n型CZ-Si結晶の炭素定量 石川 陽一郎 田島 道夫, 木内 広達, 小椋 厚志, 宮村 佳児, 原田 博文, 柿本 浩一    
2017年10月6日 DCバイアス印加による高温スパッタMoS2膜の硫黄欠損抑制 石原 聖也 日比野 祐介, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太朗, 若林 整, 小椋 厚志    
2017年10月6日 High-k/In1-xSixO1-yCyチャネル界面がトランジスタ特性に及ぼす影響 栗島 一徳 生田目 俊秀, 女屋 崇, 木津 たきお, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志    
2017年10月6日 新規Te原料(i-C3H7)2Teを用いたTe化によるMoTe2作製 日比野 祐介 石原 聖也, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太郎, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 若林 整, 小椋 厚志    
2017年10月7日 水浸ラマン分光法によるAr+イオン照射を施した酸化膜被覆型Si ナノワイヤの異方性二軸応力評価 横川 凌 橋本 修一郎, 富田 基裕, 渡邉 孝信, 小椋 厚志    
2017年10月7日 サーファクタント効果を利用したMOCVD成長GeSn薄膜のHAXPES評価 臼田 宏治 吉木 昌彦, 須田 耕平, 小椋 厚志, 富田 充裕    
2017年10月7日 ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造評価(U) 鈴木 貴博 横川 凌, 三野 伸晃, 高橋 和也, 小森 克彦, 森本 保, 澤本 直美, 小椋 厚志    
2017年10月7日 Si基板上GaN成長のための反応性スパッタ法を用いたAlNバッファー層作製条件の検討 立島 滉大 長田 貴弘, 石橋 啓次, 高橋 健一郎, 鈴木 摂, 小椋 厚志, 知京 豊裕    
2017年10月7日 スパッタ堆積MoS2膜の下地材料依存性 大橋 匠 宗田 伊理也, 石原 聖也, 日比野 祐介, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 小椋 厚志, 若林 整    
2017年10月7日 低温分解Sn原料Tetra (isopropyl) tinを用いたMOCVD法によるGe1-xSnx膜成長 村上 達海 須田 耕平, 吉岡 和俊, 高橋 祐樹, 小孫 翔太, 澤本 直美, 町田 英明, 大下 祥雄, 小椋 厚志    
2017年10月7日 ナノ結晶ZrO2シード層を用いた厚膜HfxZr1-xO2の強誘電性 女屋 崇 生田目 俊秀, 澤本 直美, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志    
2017年10月8日 カーボンドープシリコンにおけるフォノン変形ポテンシャルの導出 吉岡 和俊 村上 達海, 小孫 翔大, 横川 凌, 澤本 直美, 小椋 厚志    
2017年10月8日 バルクSiGeおよび液浸ラマン分光法を用いたSiGeフォノン変形ポテンシャルの導出 横川 凌 武内 一真, 村上 達海, 臼田 宏治, 米永 一郎, 小椋 厚志    
2017年10月8日 放射光X線回折を用いたGe1-xSnxメサ構造における異方性歪評価 村上 達海 須田 耕平, 高橋 祐樹, 吉岡 和俊, 日比野 祐介, 横川 凌, 広沢 一郎, 小椋 厚志    
2017年9月22日 X線の遠まわり反射によるひずみ半導体の格子ひずみ評価 宮下 遥香 天貝 早希, 秋本 晃一, 村上 達海, 小椋 厚志 日本物理学会 2017年秋季大会  
2017年10月26日 ZrO2シード層がHfxZr1-xO2薄膜の強誘電性へ及ぼす効果 女屋 崇 生田目 俊秀, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会(SDM)  
2017年11月2日 GaNテンプレート基板のための反応性スパッタ法を用いたAlNバッファー層作製条件の検討 立島 滉大 長田 貴弘, 石橋 啓次, 高橋 健一郎, 鈴木 摂, 小椋 厚志, 知京 豊裕

第54回日本電子材料技術協会秋期講演大会
 
2017年11月21日 三次元スケーリングによるIGBTのVCEsat低減の実験的検証 筒井 一生 角嶋 邦之, 星井 拓也, 中島 昭, 西澤 伸一, 若林 整, 宗田 伊理也, 佐藤 克己, 末代 知子, 齋藤 渉,  更屋 拓哉, 伊藤 一夫, 福井 宗利, 鈴木 慎一, 小林 正治, 高倉 俊彦, 平本 俊郎, 小椋 厚志, 沼沢 陽一郎, 大村一郎, 大橋 弘通, 岩井 洋 電気学会 電子デバイス半導体電力変換 合同研究会