国内学会 12〜13年 2014/2/13 更新
発表年月 タイトル 講演者 共著者 講演会名 備考
2012年1月7日 マイクロX線回折によるローカル歪みSi の歪み分布計測 今井康彦
木村 滋、小瀬村大亮、小椋厚志
第25回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム  
2012年1月20日 名 high-k / SiO2 界面におけるダイポール形成が太陽電池表面キャリア再結合に与える影響 池野成裕 立花福久,、長田貴弘、 Lee Hyunju、 小椋厚志 、知京豊裕 ゲートスタック研究会 ─材料・プロセス・評価の物理─ 第17回研究会研究報告  
2012年1月21日 Sub-μmサイズひずみSOI層の液浸Ramanによる異方性ひずみ緩和評価  臼田 宏治 手塚 勉、小瀬村 大亮、富田 基裕、 小椋 厚志 ゲートスタック研究会 ─材料・プロセス・評価の物理─ 第18回研究会研究報告  
2012年3月15日 ナノテクノロジーにおける埋もれた界面の解析のニーズとソリューション 知京豊裕 長田貴弘,生田目俊秀,小橋和義,池野成裕,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月15日 スカベンジング効果を用いた HfO2/Si 界面における SiO2 の薄膜化 小橋和義 長田貴弘,池野成裕,小椋厚志,知京豊裕 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月16日 Te化法によるGeSbTe膜の高アスペクト比ホール内組成制御 須田耕平 堀池喬文,浜田せいち,宇納知寛,町田英明,石川真人,須藤 弘,有馬 進,河野有美子,大下祥雄,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月16日 TiNゲートプロセスがFinFETの移動度及びばらつきに及ぼす影響 林田哲郎 遠藤和彦,Yongxun Liu,大内真一,松川 貴,水林 亘,右田真司,森田行則,太田裕之,橋口裕樹,小瀬村大亮,亀井貴弘,安川裕政,塚田順一,石川由紀,山内洋美,小椋厚志,昌原明植 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月16日 瞬時熱酸化により改善したIPD膜を用いたNOR型Tri-Gateフラッシュメモリの作製及び電気特性評価 亀井貴弘 Yongxun Liu2,松川 貴2,遠藤和彦2,大内真一2,塚田順一2,山内洋美2,石川由紀2,林田哲郎1,坂本邦博2,小椋厚志1,昌原明稙 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月16日 Double-GateとTri-Gate構造を用いたFinFETフラッシュメモリ電気特性の比較評価 Yongxun Liu 亀井貴弘,松川 貴,遠藤和彦,大内真一,塚田順一,山内洋美,石川由紀,林田哲郎,坂本邦博,小椋厚志,昌原明植 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月16日 微細な三角形状トンネル領域を持つFloating-Gate型MOSキャパシタの作製及び電気特性評価 Yongxun Liu 郭 若峰,亀井貴弘,松川 貴,遠藤和彦,大内真一,塚田順一,山内洋美,石川由紀,林田哲郎,坂本邦博,小椋厚志,昌原明植 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日  
ALD-AlOxパッシベーションによる界面歪の評価
立花福久 池野成裕,新船幸二,吉田晴彦,知京豊裕,小椋厚志,佐藤真一 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日  
熱アニールによる室温堆積ALD-AlOx 膜のパッシベーション特性変化
三木祥平 中村亮太,新船幸二,松谷亮佑,浜野純平,吉田晴彦,立花福久,小椋厚志,大下祥雄,佐藤真一 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日  
100μm厚結晶シリコン太陽電池の研究開発
大下祥雄 小島拓人,青木真理,立花福久,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日 大粒径多結晶シリコンにおける軽元素の析出挙動 李 建永 関口隆史,原田博文,宮村佳児,陳  君,大下祥雄,柿本浩一,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日  
疑似単結晶シリコン中の軽元素不純物が結晶欠陥に与える影響
立花福久 楠木宏毅,土屋佑樹,鮫島 崇,小島拓人,新船幸二,柿本浩一,宮村佳児,原田博文,関口隆史,大下祥雄,小野春彦,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日 シードキャスト法における種結晶シリコンからの酸素不純物の混 楠木宏毅 立花福久,小島拓人,大下祥雄,小椋厚志,小野春彦 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日 強制汚染およびリンゲッタリングによる多結晶Si中の鉄およびニッケルの挙動 宮崎直人 土屋佑樹,鮫島 崇,立花福久,小島拓人,大下祥雄,新船幸二,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日  
PLによる太陽電池用高補償比Si結晶のドナー・アクセプタ不純物定量
田中香次 田島道夫,小椋厚志,Sbastien Dubois,Jordi Veirman 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月17日  
多結晶Siセルにおける深い準位の高速フォトルミネッセンス分光イメージング法
岡山 太 田島道夫,豊田裕之,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月18日 液浸ラマン分光法による歪SiGe の異方性応力評価 小瀬村大亮 富田基裕,臼田宏治,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年3月18日 有限要素法による微細構造歪SiGe層の異方性応力緩和評価 富田基裕 小瀬村大亮,臼田宏治,小椋厚志 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会  
2012年7月30日 擬似単結晶シリコン中の種結晶から混入する酸素の濃度分布 楠木 宏毅 立花 福久、小椋 厚志、小野 春彦 太陽電池材料開発の現在と未来 -第5回半導体若手ワークショップ-  
2012年9月11日 100μm太陽電池技術開発の現状 大下祥雄 小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月11日 イオンシャワー注入法を用いた太陽電池の作製および評価 橋口裕樹 立花福久,青木真理,小島拓人,大下祥雄,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月12日 微小角入射X線回折による熱酸化およびラジカル酸化SiO2薄膜中の結晶様構造の評価 永田晃基 山口拓也,小椋厚志,小金澤智之,廣澤一郎,諏訪智之,寺本章伸,服部健雄,大見忠弘 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月12日  
低温CVD 成膜されたSiO2における水素ラジカル処理の効果
土屋佑樹 池野成裕,山口拓也,鈴木 摂,石橋啓司,長田貴弘,新船幸二,吉田晴彦,佐藤真一,知京豊裕,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月12日 溌液結晶化法により作製した結晶シリコンインゴットの評価 立花福久 土屋佑樹,宮崎直人,櫻木史郎,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月12日 10cm径mono cast Si結晶成長 宮村佳児 原田博文,Karolin Jiptner,陳  君,李 建永,Ronit Prakash,関口隆史,小島拓人,大下祥雄,小椋厚志,福澤理行,中野 智,高  冰,柿本浩一 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月12日 多結晶シリコン粒界における酸化誘起ストレス分布:分子動力学法による解析 栗山 亮 橋口誠広,青木直成,富田将典,図師知文,小椋厚志,渡邉孝信 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月12日  
多結晶シリコンにおける軽元素析出物のカソードルミネッセンス分析
李 建永 Ronit Roneel Prakash,Dierre Benjamin,陳  君,関口隆史,原田博文,宮村佳児,大下祥雄,柿本浩一,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月12日 PLによる高補償比Si結晶の残留ドナー・アクセプタ不純物定量 田中香次 田島道夫,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 局所表面プラズモン共鳴を用いたラマン分光法による歪Si基板の応力評価 橋口裕樹 武井宗久,小瀬村大亮,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 EBSP法を用いたSiGe/Siメサ構造における異方性応力緩和評価 長坂将也 富田基裕,小瀬村大亮,臼田宏治,手塚 勉,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 ラマン分光法による超薄膜SOIフォノン閉じ込めの評価 武井宗久 橋口裕樹,小瀬村大亮,内藤大明,黒澤裕也,内田 建,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 SSOI微細構造における異方性応力緩和の膜厚依存性評価 シティノルヒダヤー チェモハマドユソフ 富田基裕,小瀬村大亮,臼田宏治,手塚 勉,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 有限要素法による微細構造歪SSOI層の応力緩和に対する膜厚依存性の評価 富田基裕 小瀬村大亮,臼田宏治,手塚 勉,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 スプリットゲート型ポリシリコンチャネルFinFETフラッシュメモリの作製及び電気特性評価 Yongxun Liu 亀井貴弘,松川 貴,遠藤和彦,大内真一,塚田順一,山内洋美,石川由紀,林田哲郎,坂本邦博,小椋厚志,昌原明植 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 不純物注入レスプロセスにより形成したひずみGeナノワイヤ メタルソース・ドレインpMOSFET (I) -ひずみGeナノワイヤチャネルのホール移動度特性- 池田圭司 小野瑞城,小瀬村大亮,臼田宏治,小田 穣,上牟田雄一,入沢寿史,守山佳彦,小椋厚志,手塚 勉 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日  
不純物注入レスプロセスにより形成したひずみGeナノワイヤ メタルソース・ドレインpMOSFET (II) -メタルソース・ドレインによる寄生抵抗低減効果と短チャネルデバイス特性評価-
池田圭司 小野瑞城,小瀬村大亮,臼田宏治,小田 穣,上牟田雄一,入沢寿史,守山佳彦,小椋厚志,手塚 勉 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 微細構造Si1-xGexに印加された異方性応力の加工形状およびGe濃度依存性 小瀬村大亮 富田基裕,臼田宏治,手塚 勉,小椋厚志 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 高NA、油浸ラマン分光によるメサ分離ひずみSGOI層の異方性ひずみ評価 臼田宏治 小瀬村太亮,富田基裕,小椋厚志,手塚 勉 第73回応用物理学会学術会議  
2012年9月13日 SrSiOx/Si(100)界面に誘起される固定電荷の評価 堀田育志 今中淳弘,豊嶋祐樹,谷脇将太,佐々木翼,吉田晴彦,新船幸二,小椋厚志,佐藤真一 第73回応用物理学会学術会議  
2012年10月25日 微小角入射X線回折法を用いたSiO2薄膜中の結晶相の評価 永田晃基 山口拓也、小椋厚志、小金澤智之、廣澤一郎、諏訪智之、寺本章伸、服部健雄、大見忠弘 電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会(SDM)  
2013年3月27日 MOCVD 法によるGeSn 膜の堆積 須田 耕平 宇納 知寛,宮川 達也,町田 英明,石川 真人,須藤 弘,大下 祥雄,小椋 厚志 第60回応用部物理学会春季学術講演会  
2013年3月28日 Si(100)基板表面極近傍の酸化誘起残留歪の光電子分光による検出 諏訪智之 寺本章伸,大見忠弘,室隆桂之,木下豊彦, 永田晃基,小椋厚志,服部健雄 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月28日 プラズマ励起ALD SiN 膜構造における応力評価 長坂 将也 永田 晃基、山口 拓也、小椋 厚志、陰地 宏、孫 珍永、広沢 一郎、渡部 佳優、廣田 良浩 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月29日 aSi:H/cSi ヘテロ接合太陽電池のデバイスモデルとVoc のi 層厚依存性 林 豊 Debin Li, 大下祥雄 ,小椋厚志 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月29日 細構造歪SiGe 層に生じる応力緩和分布のテンソル評価 富田 基裕 小瀬村 大亮、臼田 宏治、小椋 厚志 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月29日 SrSiOX/Si 構造の熱安定性と電気特性の評価 谷脇 将太 豊島 祐樹,堀田 育志, 吉田 晴彦, 新船 幸二, 小椋 厚志, 佐藤 真一 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月29日 Detailed Study on the c-Si Surface Passivation Mechanism of O3-Based Batch Hyunju Lee Tomihisa Tachibana, Norihiro Ikeno, Hiroki Hashiguchi, Yuki Tsuchiya, Koji Arafune, Haruhiko Yoshida, Shin-ichi Satoh, Toyohiro Chikyow, Atsushi Ogura 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月29日 室温堆積ALD-AlOx 膜のパッシベーション特性に及ぼす初期酸化界面の影響 酒井智香子 山本俊輔、三木祥平、新船 幸二、堀田育志、吉田晴彦、小椋厚志、佐藤真一 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月29日 UV 照射によるALD-AlOx 膜のパッシベーション特性変化 酒井智香子 漆畑孝、三木祥平、新船 幸二、堀田育志、吉田晴彦、小椋厚志、佐藤真一 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月30日 回収シリコン粉末原料の再結晶化に及ぼす酸素の影響 佐藤 邦孝 藤井 寿,本泉 佑,高木 眞一,米原 崇広,柳 基典,楠木 宏毅,小椋 厚志,小野 春彦 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月30日 多結晶Si ウエハー中の小角粒界の顕微フォトルミネッセンス解析 岡山 太 宮崎 直人,平野 梨伊,田島 道夫,豊田 裕之,小椋 厚志 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月30日 太陽電池用多結晶Si における小角粒界のフォトルミネッセンス解析 加藤 言 岡山 太,徳丸 慎司,佐藤 力樹,豊田裕之,田島 道夫,小椋 厚志 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月30日 顕微EL イメージングによる多結晶Si 中粒界の電気的特性の定量評価 沓掛健太朗 宮崎直人, 鮫島崇, 立花福久, 小椋厚志, 大野裕, 徳本有紀, 宇佐美徳隆, 米永一郎 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月30日 太陽電池用多結晶Si 中の小角粒界における鉄汚染の影響 船越 正輝 宮崎 直人, 土屋 佑樹, 立花 福久, 大下祥雄 , 新船幸二, 小椋厚志 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月30日 太陽電池用鋳造多結晶シリコン中のSiNx不純物の析出 李 建永 Ronit Roneel Prakash, Dierre Benjamin, 陳 君, 関口 隆史,原田 博文,宮村 佳児,大下 祥雄,柿本 浩一,小椋 厚志 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月30日 HfO2/SiO2 及びY2O3/SiO2 構造の作製条件最適化 豊嶋 祐樹 谷脇 将太, 堀田 育志, 吉田 晴彦, 新船 幸二, 小椋 厚志, 佐藤 真一 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年3月30日 高補償比B, P, Ga 添加Si 結晶のフォトルミネッセンス解析 田中 香次 田島 道夫,Maxime Forster, 豊田 裕之, 小椋 厚志 第60回応用物理学会春季学術講演会  
2013年6月18日 HfO2/Ge界面へのルチル型TiO2挿入によるGeOx生成の抑制 小橋和義 長田貴弘、生田目俊秀、山下良之、小椋厚志、知京豊裕 電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会  
2013年9月16日 高濃度・高補償比Si結晶中のドナー・アクセプタ不純物の振舞 田中香次 田島道夫,Maxime Foster,豊田裕之,小椋厚志 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月16日 太陽電池用多結晶シリコンの極低温遠赤外吸収測定 佐藤邦孝 宇野匠,小椋厚志,小野春彦 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月17日 AlファイヤースルーペーストとAl2O3パッシベーション膜を用いた裏面構造の形成 立花福久 池野成裕,青木真理,大下祥雄,小椋厚志,佐藤真一,川本裕介,吉野泰 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月17日 分子動力学シミュレーションによるAl2O3/SiO2界面のダイポール層の再現 栗山亮 橋口誠広,高橋隆介,小椋厚志,佐藤真一,渡邉孝信 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月17日 Al2O3/SiO2 界面のダイポールが誘起するチャネル内の静電界 橋口誠広 栗山亮,高橋隆介,小椋厚志,佐藤真一,渡邉孝信 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月18日 Ge濃度SGOIワイヤーの異方性ひずみ評価 臼田宏治 池田圭司,小瀬村太亮,富田基裕,小椋厚志,手塚勉 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月19日 ミストCVD法により製膜したAlOx膜のパッシベーション特性 井口功嗣 三木祥平,今枝博紀,酒井智香子,吉田晴彦,堀田育志,小椋厚志,佐藤真一,新船幸二 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月19日 結晶シリコン太陽電池用a-SiNXパッシベーション特性の屈折率依存 山本俊輔 漆畑孝,酒井智香子,吉田晴彦,堀田育志,小椋厚志,佐藤真一,新船幸二 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月19日 SrO/Si構造のアニール処理によって作製したSrSiOx層の化学組成 谷脇将太 豊嶋祐樹,堀田育志,吉田晴彦,新船幸二,小椋厚志,佐藤真一 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月19日 XPSを用いたHfO2/SiおよびY2O3/Siアニール界面の構造解析 豊嶋祐樹 谷脇将太,堀田育志,吉田晴彦,新船幸二,小椋厚志,佐藤真一 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月19日 表面プラズモン共鳴を用いたラマン分光法によるSi微小領域の異方性二軸応力評価 岩崎竜平 永田晃基,富田基裕,小瀬村大亮,小椋厚志 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月20日 Analysis of Electrical Field in Surface Enhanced Raman Spectroscopy Using Strained-Si Substrate シティノルヒダヤー チェモハマドユソフ 小瀬村大亮,木嶋隆浩,小椋厚志 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月20日 有限要素法による異種の構造から導入される重畳応力の評価 富田基裕 小瀬村大亮,小椋厚志 第74回応用物理学会秋季学術講演会  
2013年9月20日 液浸ラマン分光法による高Ge濃度圧縮歪SiGeメサ構造/Ge基板からのLO,TOフォノンスペクトルの観測 小瀬村大亮 富田基裕,臼田宏治,手塚勉,小椋厚志 第74回応用物理学会秋季学術講演会