| 国内学会 04～06年 | 2011/4/11 更新 | ||||
| 発表年月 | タイトル | 講演者 | 共著者 | 講演会名 | 備考 |
| 2004年1月 | 陽電子消滅法を用いたHigh-k膜の欠陥解析 | 上殿 | 服部、小椋、工藤、西川、大平、鈴木、三角 | 極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性(第８回研究会) | 招待講演 |
| 2004年3月 | ラマン分光法による歪Si/SiGe/Si基板の歪測定における励起光波長の選択 | 小椋 | 上嶋、山本、中島、山本 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2004年3月 | DUVラマン分光とVISラマンイメージによる歪Si/GeSi/Si基板の評価 | 中島 | 山本、小椋、上嶋、山本 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2004年3月 | 線照射Raman測定による歪Si/SiGe/Si基板の結晶性評価 | 山本 | 中島、小椋、上嶋、山本 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2004年3月 | 放射光X線回折法による歪Si/SiGe/Si基板（市販）の格子歪み評価 (I) -広域構造 | 福田 | 富田、原、津坂、篭島、松井、小椋 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2004年3月 | 放射光X線回折法による歪Si/SiGe/Si基板（市販）の格子歪み評価 (Ⅱ) –局所構造 | 福田 | 富田、原、津坂、篭島、松井、小椋 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2004年3月 | SOI のPLを用いた表面酸化膜の評価 | 満山 | 李、田島、小椋 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2004年3月 | Photoluminescence Characterization of Strained Si/SiGe Heterostructure | 李 | 満山、田島、藁品、小椋 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2004年3月 | MOCVD法によるNiの成膜 | 石川 | 加田、町田、小椋、大下 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2004年9月 | PL法によるSGOI及びSSOIウェーハの評価 | 満山 | 李、田島、大西、小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2004年9月 | 紫外ラマン分光による歪Si/Si1-xGex/Si構造の組成、欠陥の空間分布解析 | 三谷 | 中島、小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2004年9月 | Ni(PF3)4を用いたNi薄膜の堆積 | 石川 | 加田、町田、小椋、大下 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2004年9月 | 放射光X線回折法による歪みSi/SiGe/Si基板(市販)の格子歪み評価 (III) ウエーハ断面のX線回折 | 富田 | 福田、津坂、篭島、松井、小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2004年12月 | 先端機能性ウェーハの現状 －SOI/歪Si/(110)Si | 小椋 | SEMICON Japan 2004併設プログラム | ||
| 2005年3月 | 放射光X線回折法による歪みSi/SiGe/Si基板(市販)の格子歪み評価 (Ⅳ) 歪みSi層の結晶性評価 | 富田 | 林、安井、吉田、福田、津坂、篭島、松井、小椋 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2005年3月 | Ni(PF3)4を用いたNi薄膜の堆積Ⅱ | 石川 | 町田、小椋、大下 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2005年9月 | CVDによるNiシリサイドゲート電極の堆積 | 石川 | 村本、町田、今井、小椋、大下 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2005年9月 | W成膜のための液体CVD原料： i-PrCp2WH2 | 今井 | 村本、石川、町田、小椋、大下 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2005年9月 | Si中のローカル／グローバル歪測定のための高性能UV-ラマン分光システムの開発 | 千葉 | 清水、山崎、小瀬村、田中、小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2005年9月 | UV-ラマン分光法を用いた歪Si基板のRTAプロセスによる歪緩和評価 | 山崎 | 小瀬村、田中、小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2005年10月 | デバイス開発のための表面・界面分析技術 －Si結晶、基板 | 小椋 | 第26回表面科学セミナー （表面科学会） | ||
| 2005年12月 | JEITAにおける超薄膜SOIおよび歪Siウェーハの標準化の現状 | 小椋 | SEMICON Japan 2005併設プログラム | ||
| 2006年2月 | イントロダクトリートーク | 小椋 | 日本学術振興会 結晶加工と評価技術第145委員会 第105回研究会 | 招待講演 | |
| 2006年2月 | 次世代向けウェハの現状と課題 | 小椋 | 日本学術振興会 結晶加工と評価技術第145委員会 第105回研究会 | 招待講演 | |
| 2006年3月 | 太陽電池用多結晶Siの欠陥部分のPLマッピング／スペクトル解析 | 井上 | 杉本、田島、大下、小椋 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2006年3月 | X線in-plane回折による歪Si基板の深さ方向歪分布測定 | 小瀬村 | 山崎、田中、小椋、広沢 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2006年3月 | UV-ラマンマッピング法による歪Si基板の歪分布 | 山崎 | 小瀬村、田中、小椋 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2006年3月 | 高分解能RBS による歪Si の歪み評価 | 一原 | 小林、牟礼、藤川、笹川、小椋、木村 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2006年3月 | SOIおよび歪Si基板技術の動向と評価技術 | 小椋 | 春季応用物理学関係連合講演会 | ||
| 2006年3月 | CVDによるNiシリサイドの堆積 | 石川 | 村本、町田、今井、小椋、大下 | 春季応用物理学関係連合講演会 | |
| 2006年8月 | UV/可視-ラマン分光によるSi3N4/Si界面歪の評価 | 小瀬村 | 山崎、掛村、吉田、小椋、 内田、 服部、 吉丸 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2006年8月 | In-plane X線回折法によるローカルおよびグローバル歪の評価 | 山崎 | 小瀬村、掛村、吉田、小椋、 廣沢、 北野 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2006年8月 | UVラマン分光によるHfSiO(N)/Si界面の評価 | 吉田 | 吉田、山崎、小瀬村、掛村、小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2006年8月 | 太陽電池用多結晶Siの欠陥領域の低温PLマッピング解析 | 井上 | 杉本、 田島、 大下、 小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2006年8月 | 高圧水蒸気により形成されたシリコン酸化膜の硬X線励起Si1sスペクトル観察 | 山本 | 斎、 田中、 広沢、 池永、 大下、小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2006年8月 | CVDによるNiシリサイドの堆積Ⅱ | 石川 | 村本、町田、今井、小椋、大下 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2006年8月 | 微小pnダイオードアレイによる太陽電池用多結晶Siの評価 | 田中 | 今井、小椋、大下、新船、河合、楠岡、田島、井上 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2006年8月 | 極端に非対称なＸ線回折法を用いたシリコン高圧酸化膜の界面格子歪評価 | 吉田 | 秋本、伊藤、榎本、山本、大下、小椋 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |
| 2006年9月 | Si基板に導入されたローカル/グローバル歪の高精度分布測定 | 小瀬村 | 山崎、掛村、吉田、小椋 | STARCシンポジウム | |
| 2006年9月 | HfSiO(N)/Si界面歪のUV-ラマン分光およびin-plane Ｘ線回折による評価 | 吉田 | 小瀬村、山崎、掛村、小椋 | STARCシンポジウム | |
| 2006年11月 | グローバルおよびローカル歪の測定 －ラマン分光法とSPring-8の比較、得失について | 小椋 | SPring-8 ナノテク総合支援プロジェクトワークショップ | 招待講演 | |