国内学会 16年〜 |
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2018/7/12 更新 |
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発表年月 |
タイトル |
講演者 |
共著者 |
講演会名 |
備考 |
2016年1月22日 |
Ar+イオン照射によるSiナノワイヤのNi合金化プロセスの制御性向上 |
麻田 修平 |
橋本 修一郎, 武井 康平, ソン セイ, 張 旭, 徐 泰宇, 臼田 稔宏,
遠藤 清, 大場 俊輔, 富田 基裕, 今井 亮佑, 小椋 厚志, 松川 貴, 昌原 明植, 渡邉 孝信 |
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電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回) |
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2016年1月22日 |
ZrO2/Al2O3/ZrO2スタック構造を用いたDRAMキャパシタにおけるAl2O3及びZrO2膜厚がリーク電流特性へ及ぼす影響 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志 |
電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回) |
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2016年1月22日 |
CドープIn-Si-Oチャネルの酸化物TFTのバイアスストレス特性の改善 |
栗島 一徳 |
生田目 俊秀, 三苫 伸彦, 木津 たきお, 塚越 一仁, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 山本 逸平, 大石 知司, 知京 豊裕,
小椋 厚志 |
電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回) |
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2016年1月22日 |
TMA原料とTiO2膜の酸素の自己制御型反応によるアナターゼTiO2膜への酸素欠損の形成のメカニズム |
山本 逸平 |
生田目 俊秀, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 栗島 一徳, Thang Duy Dao, 長尾 忠昭, 知京 豊裕, 小椋 厚志,
大石 知司 |
電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回) |
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2016年1月22日 |
レーザーアブレーション法によるGe上ルチル型TiO2絶縁膜作製の条件最適化 |
鈴木 良尚 |
長田 貴弘, 山下 良之, 生田目 俊秀, 小椋 厚志, 知京 豊裕 |
電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回) |
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2016年3月19日 |
Ar+イオン照射によるSiナノワイヤのNi合金化反応の高精度制御 |
大場 俊輔 |
橋本 修⼀郎, 武井 康平, ソン セイ, 張 旭, 徐 泰宇, 麻田 修平, 臼田 稔宏, 遠藤 清, 富田 基裕, 徳武
寛紀, 今井 亮佑, 小椋 厚志, 松川 貴, 昌原 明植, 渡邉 孝信 |
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2016年3月19日 |
PLイメージングを用いた強制汚染およびゲッタリングによる多結晶Si中の鉄およびニッケルの影響評価 |
鈴木 涼太 |
池野 成裕, 小島 拓人, 大下 祥雄, 小椋 厚志 |
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2016年3月20日 |
PLDによるルチル型TiO2/Ge 作製条件の検 |
鈴木 良尚 |
長田 貴弘, 山下 良之, 生田目 俊秀, 小椋 厚志, 知京 豊裕 |
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2016年3月20日 |
ZrO2/Al2O3/ZrO2スタック構造を用いたDRAMキャパシタにおけるリーク電流特性の改 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 ⼀徳, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志 |
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2016年3月20日 |
ラマン分光法及びイメージング法による低温多結晶シリコン薄膜の結晶性分布評 |
横川 凌 |
橋 和也, 小森 克彦, 廣田 良浩, 澤本 直美, 小椋 厚志 |
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2016年3月20日 |
S/Mo比増加によるMoS2膜の低キャリア濃度化 |
大橋 匠 |
松浦 賢太朗, 石原 聖也, 日比野 祐介, 澤本 直美, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 小椋 厚志, 若林 整 |
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2016年3月20日 |
液浸ラマン分光法によるSi基板上歪Si:C薄膜に印加された応力評価 |
山本章太郎 |
武内 ⼀真, 石原 聖也, 小椋 厚志 |
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2016年3月20日 |
液浸ラマン分光法による歪Ge1-xSnxのフォノン変形ポテンシャル導出 |
武内 ⼀真 |
須田 耕平, 山本 章太郎, 横川 凌, 小椋 厚志 |
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2016年3月20日 |
分子動力学法および分子軌道法を用いたSiGe混晶内のフォノン再現に関する考察 |
富田 基裕 |
小椋 厚志, 渡邉 孝信 |
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2016年3月20日 |
選択的イオン注入法で作製した⼀軸性歪Geの異方性応力評価 |
山本章太郎 |
武内 ⼀真, 小瀬村 大亮, 此島 詩織, 澤野 憲太郎, 小椋 厚志 |
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2016年3月20日 |
エックス線吸収微細構造(XAFS)法によるMOCVD成⻑ゲルマニウムスズ(GeSn)薄膜の局所構造評価 |
臼田 宏治 |
吉木 昌彦, 須田 耕平, 小椋 厚志, 富田 基裕 |
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2016年3月20日 |
フォトルミネッセンス法による高濃度Si結晶の不純物効果の解析 |
中川 啓 |
田島 道夫, 小椋 厚志 |
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2016年3月20日 |
n型CZシリコンのキャリア寿命に対する熱処理による酸素析出の影響 |
小島 拓人 |
鈴木 涼太, 小椋 厚志, 立花 福久, 大下 祥雄, 西島 英一, 正田 勲, 飯田 伸仁, 橘 昇二 |
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2016年3月20日 |
太陽電池用多結晶Siにおける酸素析出初期状態のフォトルミネッセンス |
樋口 史仁 |
宇野 匠, 田島 道夫, 小椋 厚志 |
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2016年3月20日 |
結晶Si太陽電池におけるポストプラズマ処理を用いたSiNパッシベーション特性 |
山下 祥弘 |
池野 成裕, 小島 拓人, 肥山 卓矢, 小椋 厚志 |
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2016年3月21日 |
先端複合技術型シリコン太陽電池に必要とされる技術 |
大下 祥雄 |
小椋 厚志, 中村 京太郎 |
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招待講演 |
2016年3月21日 |
結晶シリコン太陽電池におけるウェーハとプロセスの相性 |
小椋 厚志 |
小島 拓人, 中村 京太郎, 田島 道夫, 大下 祥雄, 西島 英⼀, 正田 勲, 田 伸仁, 橘 昇⼆ |
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招待講演 |
2016年3月22日 |
スパッタ堆積MoS2薄膜のXPSと光学コントラスト法による層数識 |
石原 聖也 |
日比野 祐介, 澤本 直美, 須田 耕平, 大橋 匠, 松浦 賢太郎, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 若林 整, 小椋
厚志 |
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2016年3月22日 |
酸化物薄膜トランジスタへ向けたCドープしたIn-W-Oチャネル材料の特性 |
栗島 ⼀徳 |
生田目 俊秀, 三苫 伸彦, 木津 たきお, 塚越 ⼀仁, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 山本 逸平, 大石 知司, 知京 豊裕,
小椋 厚志 |
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2016年3月25日 |
XPSを用いたトリメチルアルミニウムガスによるTiO2膜からの自己制御型の酸素脱離メカニズムの解析 |
山本 逸平 |
生田目 俊秀, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 栗島 一徳, Thang Duy DAO, 長尾 忠昭, 知京 豊裕, 小椋 厚志,
大石 知司 |
2016年春期(第158回)講演大会 |
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2016年3月25日 |
TiO2/Al2O3/TiO2キャパシタにおけるPE-ALD RuO2とTiN電極の耐圧特性の比較 |
澤田 朋実 |
生田目 俊秀, Thang Duy DAO, 山本 逸平, 栗島 一徳, 女屋 崇, 大井 暁彦, 大石 知司 |
2016年春期(第158回)講演大会 |
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2016年5月20日 |
豊田工業大学試作ラインにおける結晶シリコン太陽電池セル開発 |
中村京太郎 |
大下 祥雄,小椋 厚志 |
日本学術振興会 産学協力研究委員会 第175 委員会 第13回研究会 |
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2016/65/29 |
ZrO2/Al2O3/ZrO2多層を用いたDRAMキャパシタにおけるAl2O3層が電気特性に及ぼす効果 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志 |
電子情報通信学会、シリコン材料・デバイス研究会 (SDM)
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2016年9月14日 |
スパッタMoS2膜に対する有機硫黄化合物を用いた硫化アニール効果 |
石原 聖也 |
日比野 祐介, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太郎, 町田 英明, 石川 真人, 若林 整, 小椋 厚志
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
招待講演 |
2016年9月14日 |
(t-C4H9)2S2を用いたMoS2薄膜作製およびS/Mo比の硫化条件依存 |
石原 聖也 |
日比野 祐介, 澤本 直美, 大橋 匠, 松浦 賢太郎, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 若林 整, 小椋
厚志
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
「講演奨励賞受賞記念講演」(15分)PLイメージングによる太陽電池用シリコン結晶の評価 |
鈴木 涼太 |
小島 拓人, 木下 晃輔, 大下 祥雄, 小椋 厚志 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
招待講演 |
2016年9月15日 |
PL イメージングを用いた結晶シリコン太陽電池のスライスダメージ評価 |
鈴木 涼太 |
小島 拓人, 木下 晃輔, 河津 知之, 中村 京太郎, 大下 祥雄, 小椋 厚志 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
ZrO2/high-k/ZrO2多層絶縁膜を用いたDRAMキャパシタにおけるhigh-k層間絶縁層の役割 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
熱処理の冷却過程の違いによる太陽電池用単結晶シリコン中の酸素析出への影響 |
中山 椋平 |
小椋 厚志, 小野 春彦 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
ラマン分光法を用いた多結晶シリコン薄膜成膜プロセス依存の評価 |
鈴木 貴博 |
横川 凌, 高橋 和也, 小森 克彦, 森本 保, 澤本 直美, 小椋 厚志 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
n型CZシリコン太陽電池のプロセス起因酸素析出に対する成長条件の影響 |
小島 拓人 |
鈴木 涼太, 中村 京太郎, 小椋 厚志, 立花 福久, 大下 祥雄, 西島 英一, 正田 勲, 飯田 伸仁, 橘
昇二
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ構造評価 |
横川 凌 |
鈴木 貴博, 鈴木 涼太, 高橋 和也, 小森 克彦, 森本 保, 澤本 直美, 小椋 厚志
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
SiGe薄膜のラマンスペクトルに見られるブロードピークの起源の検討 |
武内 一真 |
小瀬村 大亮, 横川 凌, 澤本 直美, 臼田 宏治, 小椋 厚志 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
ZrO2絶縁膜/In-Si-Oチャネル界面が酸化物TFTのトランジスタ特性へ及ぼす影響 |
栗島 一徳 |
生田目 俊秀, 木津 たきお, 塚越 一仁, 女屋 崇, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
電子線照射発光活性化PL法による太陽電池用CZ-Si中の低濃度炭素の定量 |
木内 広達
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田島 道夫, 樋口 史仁, 小椋 厚志, 飯田 伸仁, 橘 昇二, 正田 勲, 西島 英一 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
電子線照射発光活性化PL法によるCZ-Si結晶中の酸素析出過程の解析 |
樋口 史仁 |
田島 道夫, 木内 広達, 小椋 厚志 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月15日 |
分子動力学法および分子軌道法を用いたGeSn混晶内のフォノン再現に関する考察 |
富田 基裕 |
小椋 厚志, 渡邉 孝信 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月16日 |
MOCVD法によるGe基板上でのGe-xSnxエピタキシャル成長(4)Sb原子の持つサーファクタント効果によるSn濃度増加 |
須田 耕平 |
澤本 直美, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 大下 祥雄, 臼田 宏治, 広沢 一郎, 小椋 厚志 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月16日 |
液浸ラマン分光法を用いたGe1-xSnxメサ構造における異方性2軸応力評価 |
村上 達海 |
武内 一真, 横川 凌, 須田 耕平, 石原 聖也, 小椋 厚志
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
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2016年9月23日 |
Al2O3/ZrO2/Al2O3チャージトラップキャパシタにおける電子トラップのメカニズム |
生田目俊秀 |
伊藤 和博, 高橋 誠, 弓削 雅津也, 女屋 崇, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 大石 知司, 小椋 厚志, 知京 豊裕 |
日本金属学会 第159回講演大会 |
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2016年12月20日 |
硫黄雰囲気硫化プロセスによるスパッタMoS2薄膜のキャリア密度低減 |
松浦賢太朗 |
大橋匠、宗田伊理也、石原聖也、角嶋邦之、筒井一生、小椋厚志、若林整 |
物性研究所短期研究会 「原子層上の活性サイトで発現する局所機能物性」
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2017年1月8日 |
X線回折によるGe1-xSnx薄膜の組成深さ分布非破壊測定 |
廣沢一郎 |
須田 耕平, 澤本 直美, 町田 英明, 石川 真人, 須藤 弘, 大下 祥雄, 小椋 厚志 |
第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム |
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2017年1月20日 |
High-kシード層がHfxZr1-xO2膜の強誘電性へ及ぼす影響 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 |
「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会) |
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2017年1月20日 |
酸化物薄膜トランジスタにおけるCドープIn-Si-OとIn-Si-Oチャネルの信頼性の比較 |
栗島 一徳 |
生田目 俊秀, 木津 たきお, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 |
「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会) |
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2017年1月20日 |
硬X線光電子分光法(HAXPES)によるMOCVD法形成ゲルマニウムスズ薄膜の化学結合状態解析 |
臼田 宏治 |
高石 理一郎, 吉木 昌彦 , 須田 耕平, 小椋 厚志 , 富田 充裕 |
「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会) |
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2017年1月20日 |
分子動力学法を用いた2元系IV-IV族混晶半導体の格子-フォノン物性の予測と評価 |
富田 基裕 |
小椋 厚志 , 渡邉 孝信 |
「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会) |
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2017年1月20日 |
コンビナトリアル手法によるGe上TiO2絶縁膜のアクセプタードーピングによる影響の検討 |
鈴木 良尚 |
長田 貴弘, 山下 良之, 生田目 俊秀, 小椋 厚志, 知京 豊裕 |
「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第22回研究会) |
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2017年2月24日 |
分子動力学法を用いた2元系IV-IV族混晶半導体のフォノン物性の再現と予測 |
富田基裕 |
小椋厚志,渡邉孝信 |
電子情報通信学会 エレクトロニクス ソサイエティ シリコン材料・デバイス研究会(SDM)/電子デバイス研究会(ED) |
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2017年3月1日 |
電子線照射光活性化PL法によるCZ-Sい結晶中の酸素析出過程の |
樋口 史仁 |
田島 道夫、 木内 広達、 小椋 厚志 |
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第201回研究集会 |
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2017年3月14日 |
液浸ラマン分光法を用いたGe1‐xSnxメサ構造における異方性2軸応力のパターンサイズ依存性評価 |
村上 達海 |
武内 一真、横川 凌、須田 耕平、石原 聖也、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月14日 |
発光活性化後の液体窒素温度フォトルミネッセンス測定によるSi結晶中炭素不純物の定量 |
田島 道夫 |
木内 広達、樋口 史仁、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月14日 |
電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法による太陽電池用CZ-Si中の低炭素濃度の定量 |
木内 広達 |
田島 道夫、樋口 史仁、石川 陽一郎、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
室温での加水分解反応によるCu2O膜形成 |
大山 翔平 |
渡邉 匡人、肥山 卓矢、横川 凌、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
新規モリブデン原料i-Pr2DADMo(CO)3を用いたMoS2のMOCVD |
石原 聖也 |
日比野 祐介、澤本 直美、町田 英明、大下 祥雄、若林 整、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
分子動力学法を用いたGeSnおよびSiSn混晶内のフォノン物性予測と評価 |
富田 基裕 |
小椋 厚志、渡邉 孝信 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
同時スパッタ法 と(t -C4H9)2S2による硫化で作製したMo1‐xWxS2の評価 |
日比野 祐介 |
石原 聖也、澤本 直美、大橋 匠、松浦 賢太朗、町田 英明、須藤 弘、若林 整、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
同時スパッタ法とin‐situ熱処理で作製した MoS2(1‐x)Te2xの評価 |
日比野 祐介 |
石原 聖也、澤本 直美、大橋 匠、松浦 賢太朗、町田 英明、須藤 弘、若林 整、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
High Performance mc-Si中の軽元素分布 |
中島 佑実 |
中山 椋平、沓掛 健太朗、小椋 厚志、小野 春彦 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
TEMによる太陽電池用n型Cz-Si中の酸素析出挙動の評価 −炭素濃度と成長条件の影響 |
小島 拓人 |
木下 晃輔、鈴木 涼太、中村 京太郎、小椋 厚志、大下 祥雄、正田 勲、橘 昇二 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
赤外線トモグラフィーによる太陽電池用n型Cz-Si中の酸素析出挙動の評価 −炭素濃度と成長条 件の影響 |
木下 晃輔 |
小島 拓人1、鈴木 涼太1、小林 弘人1、大下 祥雄2、正田 勲3、橘 昇二3、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月15日 |
硬X線光電子分光法(HAXPES)によるゲルマニウムスズ薄膜の深さ方向化学結合状態評価(II) |
臼田 宏治 |
高石 理一郎、吉木 昌彦、須田 耕平、小椋 厚志、富田 充裕 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月16日 |
ホールトラップがCドープIn-Si-Oのトランジスタ特性へ及ぼす影響 |
栗島 一徳 |
生田目 俊秀、木津 たきお、塚越 一仁、大井 暁彦、池田 直樹、知京 豊裕、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月16日 |
スパッタ堆積MoS2薄膜の表面粗さスケーリング解析による配向性評価 |
石原 聖也 |
大野 文太、日比野 祐介、澤本 直美、大橋 匠、松浦 賢太朗、若林 整、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月16日 |
ラマン分光法を用いたトレンチ近傍の異方性2軸応力評価 |
鈴木 貴博 |
横川 凌、大麻 浩平、西脇 達也、浜本 毅司、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月17日 |
太陽電池用シリコン結晶の現状と高効率化への課題 |
小椋厚志 |
小島拓人, 中村京太郎,
田島道夫, 大下祥雄 |
第29回シリサイド系半導体研究会 |
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2017年3月17日 |
水浸ラマン分光法による酸化膜被覆型Siナノワイヤの異方性二軸応力評価 |
横川 凌 |
鈴木 貴博、橋本 修一郎、麻田 修平、富田 基裕、渡邉 孝信、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月17日 |
ALD-ZrO2シード層によるHfxZr1‐xO2膜の強誘電性の改良 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀、栗島 一徳、澤本 直美、大井 暁彦、池田 直樹、知京 豊裕、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月17日 |
ALD-ZrO2シード層によるHfxZr1‐xO2膜の強誘電性の改良 |
肥山 卓矢 |
小島 拓人、小椋 厚志 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年3月17日 |
超高周波インピーダンス解析による高漏れ性パッシベーション膜の評価 |
小島 拓人 |
肥山 卓矢、中村 京太郎、小椋 厚志、大下 祥雄 |
第64回応用物理学会春季学術講演会 |
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2017年7月21日 |
p型結晶シリコン太陽電池の電極用ペースト中のNaがPIDに及ぼす影響 |
城内 紗千子 |
田中 亜樹, 村松 和郎, 中村 京太郎, 小椋 厚志, 大下 祥雄, 増田 淳 |
第14回 「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム |
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2017年10月5日 |
igh Performance mc-Si中の酸素析出分布 |
中山 椋平 |
小島 拓人、小椋 厚志、沓掛 健太朗 |
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2017年10月5日 |
太陽電池用n型Cz-Si中の炭素濃度が熱処理後の酸素析出に与える影響−赤外線トモグラフィーによる評価 |
木下 晃輔 |
小島 拓人、大下 祥雄、小椋 厚志 |
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2017年10月5日 |
超高周波インピーダンス解析による高漏れ性パッシベーション膜の評価(2) |
小島 拓人 |
肥山 卓矢肥山 卓矢1、西原 達平1、中村 京太郎1、小椋 厚志1、大下 祥雄、西原 達平、中村 京太郎、小椋 厚志、大下 祥雄 |
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2017年10月5日 |
太陽電池用ファイアスルー制御電極ペーストを用いた電極/シリコン界面の化学結合評価 |
肥山 卓矢 |
小島 拓人、木下 晃輔、西原 達平、大西 康平、村松 和郎、田中 亜樹、大下 祥雄、小椋 厚志 |
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2017年10月6日 |
電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法によるP添加n型CZ-Si結晶の炭素定量 |
石川 陽一郎 |
田島 道夫、木内 広達、小椋 厚志、宮村 佳児、原田 博文、柿本 浩一 |
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2017年10月6日 |
DCバイアス印加による高温スパッタMoS2膜の硫黄欠損抑制 |
石原 聖也 |
日比野 祐介、澤本 直美、大橋 匠、松浦 賢太朗、若林 整、小椋 厚志 |
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2017年10月6日 |
High-k/In1-xSixO1-yCyチャネル界面がトランジスタ特性に及ぼす影響 |
栗島 一徳 |
生田目 俊秀、女屋 崇、木津 たきお、塚越 一仁、大井 暁彦、池田 直樹、知京 豊裕、小椋 厚志 |
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2017年10月6日 |
新規Te原料(i-C3H7)2Teを用いたTe化によるMoTe2作製 |
日比野 祐介 |
石原 聖也、澤本 直美、大橋 匠、松浦 賢太郎、町田 英明、石川 真人、須藤 弘、若林 整、小椋 厚志 |
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2017年10月7日 |
水浸ラマン分光法によるAr+イオン照射を施した酸化膜被覆型Si ナノワイヤの異方性二軸応力評価 |
横川 凌 |
橋本 修一郎、富田 基裕、渡邉 孝信、小椋 厚志 |
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2017年10月7日 |
サーファクタント効果を利用したMOCVD成長GeSn薄膜のHAXPES評価 |
臼田 宏治 |
吉木 昌彦、須田 耕平、小椋 厚志、富田 充裕 |
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2017年10月7日 |
ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造評価(U) |
鈴木 貴博 |
横川 凌、三野 伸晃、高橋 和也、小森 克彦、森本 保、澤本 直美、小椋 厚志 |
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2017年10月7日 |
Si基板上GaN成長のための反応性スパッタ法を用いたAlNバッファー層作製条件の検討 |
立島 滉大 |
長田 貴弘、石橋 啓次、高橋 健一郎、鈴木 摂、小椋 厚志、知京 豊裕 |
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2017年10月7日 |
スパッタ堆積MoS2膜の下地材料依存性 |
大橋 匠 |
宗田 伊理也、石原 聖也、日比野 祐介、角嶋 邦之、筒井 一生、小椋 厚志、若林 整 |
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2017年10月7日 |
低温分解Sn原料Tetra (isopropyl) tinを用いたMOCVD法によるGe1-xSnx膜成長 |
村上 達海 |
須田 耕平、吉岡 和俊、高橋 祐樹、小孫 翔太、澤本 直美、町田 英明、大下 祥雄、小椋 厚志 |
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2017年10月7日 |
ナノ結晶ZrO2シード層を用いた厚膜HfxZr1-xO2の強誘電性 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀、澤本 直美、栗島 一徳、大井 暁彦、池田 直樹、知京 豊裕、小椋 厚志 |
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2017年10月8日 |
カーボンドープシリコンにおけるフォノン変形ポテンシャルの導出 |
吉岡 和俊 |
村上 達海、小孫 翔大、横川 凌、澤本 直美、小椋 厚志 |
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2017年10月8日 |
バルクSiGeおよび液浸ラマン分光法を用いたSiGeフォノン変形ポテンシャルの導出 |
横川 凌 |
武内 一真、村上 達海、臼田 宏治、米永 一郎、小椋 厚志 |
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2017年10月8日 |
放射光X線回折を用いたGe1-xSnxメサ構造における異方性歪評価 |
村上 達海 |
須田 耕平、高橋 祐樹、吉岡 和俊、日比野 祐介、横川 凌、広沢 一郎、小椋 厚志 |
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2017年9月22日 |
X線の遠まわり反射によるひずみ半導体の格子ひずみ評価 |
宮下遥香 |
天貝早希, 秋本晃一, 村上達海, 小椋厚志 |
日本物理学会 2017年秋季大会 |
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2017年10月26日 |
ZrO2シード層がHfxZr1-xO2薄膜の強誘電性へ及ぼす効果 |
女屋 崇 |
生田目俊秀、澤本直美、大井暁彦、池田直樹、知京豊裕、小椋厚志 |
電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会(SDM) |
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2017年11月2日 |
GaNテンプレート基板のための反応性スパッタ法を用いたAlNバッファー層作製条件の検討 |
立島 滉大 |
長田貴弘, 石橋 啓次, 高橋 健一郎, 鈴木 摂, 小椋 厚志, 知京 豊裕 |
第54回日本電子材料技術協会秋期講演大会 |
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2017年11月21日 |
三次元スケーリングによるIGBTのVCEsat低減の実験的検証 |
筒井 一生 |
角嶋 邦之, 星井 拓也, 中島 昭, 西澤 伸一, 若林 整, 宗田 伊理也, 佐藤 克己, 末代 知子, 齋藤 渉, 更屋 拓哉, 伊藤 一夫, 福井 宗利, 鈴木 慎一, 小林 正治, 高倉
俊彦, 平本 俊郎, 小椋 厚志, 沼沢 陽一郎, 大村一郎, 大橋 弘通, 岩井 洋 |
電気学会 電子デバイス半導体電力変換 合同研究会 |
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2018年1月19日 |
上下ZrO2核生成層を用いたHfxZr1-xO2薄膜の強誘電性の向上 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕 , 小椋 厚志 |
「電子デバイス界面テクノロジー研究会 −材料・プロセス・デバイス特性の物理−」(第23回) |
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2018年1月19日 |
GaNエピタキシャル基板のための反応性スパッタ法によるAlNバッファー層作成条件の検討 |
立島 滉大 |
長田 貴弘, 石橋 啓次, 高橋 健一郎, 鈴木 摂, 小椋 厚志, 知京 豊裕 |
「電子デバイス界面テクノロジー研究会 −材料・プロセス・デバイス特性の物理−」(第23回) |
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2018年1月20日 |
Sb添加高Sn濃度MOCVD-GeSn薄膜の硬X線光電子分光法(HAXPES)による化学結合状態解析 |
臼田 宏治 |
吉木昌彦、須田耕平、小椋厚志、富田充裕 |
「電子デバイス界面テクノロジー研究会 −材料・プロセス・デバイス特性の物理−」(第23回) |
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2018年3月17日 |
ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造評価(V) |
三野 伸晃 |
横川 凌、鈴木 貴博、高橋 和也、小森 克彦、森本 保、澤本 直美、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月17日 |
“テラワット発電に向けて:結晶シリコン太陽電池技術の新たな展開”― はじめに − |
小椋 厚志 |
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第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月17日 |
上下ZrO2核生成層によるHfxZr1−xO2薄膜の強誘電性の改善 |
女屋 崇 |
生田目 俊秀、澤本 直美、大井 暁彦、池田 直樹、知京 豊裕、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月17日 |
無極性AlN薄膜成長のためのスパッタ法を用いたMnSバッファー層作製条件の検討 |
立島 滉大 |
長田 貴弘、石橋 啓次、高橋 健一郎、鈴木 摂、小椋 厚志、知京 豊裕 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月18日 |
硬X線光電子分光法を用いたITO/a-Si界面特性の評価 |
西原 達平 |
小島 拓人、肥山 卓矢、松村 英樹、神岡 武文、大下 裕雄、安野 聡、廣沢 一郎、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月18日 |
太陽電池用Cz-Siにおける酸素析出が金属ゲッタリングに与える影響 |
大西 康平 |
小島 拓人、木下 晃輔、大下 祥雄、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月18日 |
太陽電池用n型Cz-Siの結晶成長条件が熱処理後の酸素析出に与える影響−赤外線トモグラフィーによる評価 |
木下 晃輔 |
小島 拓人、大下 祥雄、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月18日 |
電子線照射Si結晶の室温フォトルミネッセンスで観測されるC-line近傍発光の起源 |
田島 道夫 |
木内 広達、石川 陽一郎、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月18日 |
電子線照射Si結晶の室温フォトルミネッセンスで観測されるC-line近傍発光を利用した炭素評価 |
石川 陽一郎 |
田島 道夫、木内 広達、三好 一智、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月18日 |
多結晶シリコンの非鏡面表面における機械学習を用いたエッチピット検出 |
小島 拓人 |
小椋 厚志、福井 健次、古茂田 学、跡部 淳一 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月19日 |
Si-IGBTプロセスによるFZ-Siの少数キャリアライフタイムへの影響評価 |
小林 弘人 |
横川 凌、鈴木 貴博、沼沢 陽一郎、小椋 厚志、西澤 伸一、更屋 拓哉、伊藤 和夫、高倉 俊彦、鈴木 慎一、福井 宗利、竹内
潔、平本 俊郎 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月19日 |
p型結晶シリコン太陽電池の電極用ペーストがPIDに及ぼす影響 |
城内 紗千子 |
田中 亜樹、村松 和郎、中村 京太郎、小椋 厚志、大下 祥雄 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月20日 |
熱電デバイス用組成傾斜SiGeワイヤの構造評価 |
横川 凌 |
橋本 修一郎、高橋 恒太、大場 俊輔、富田 基裕、黒澤 昌志、渡邉 孝信、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月20日 |
共スパッタ法と(t-C4H9)2S2を用いた硫化によるMoS2(1-x) Te2x混晶の成膜 |
日比野 祐介 |
石原 聖也、小柳 有矢、澤本 直美、大橋 匠、松浦 賢太郎、町田 英明、石川 真人、須藤 弘、若林 整、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月20日 |
逆格子空間マッピングによるGe1-XSnXメサ構造における異方的格子定数評価 |
広沢 一郎 |
村上 達海、須田 耕平、高橋 祐樹、吉岡 和俊、横川 凌、小椋 厚志 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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2018年3月20日 |
Migration制御したスパッタリング法による2次元層状MoS2成膜 |
大橋 匠 |
坂本 拓朗、松浦 賢太朗、清水 淳一、外山 真矢人、石原 聖也、日比野 祐介、宗田 伊理也、角嶋 邦之、筒井 一生、小椋
厚志2、若林 整 |
第65回応用物理学会 春季学術講演会 |
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